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單晶圓清洗設備

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海市

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更新時間:2023-08-07 12:32:18瀏覽次數(shù):130次

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商鋪產品:15條

所在地區(qū):上海上海市

產品簡介

盛美的Ultra C單晶圓清洗系列可廣泛應用于*集成電路制造中多種前段工藝(FEOL)和后段工藝(BEOL),可跟據不同應用配備不同化學藥液與輔助清洗方式,也可應用于晶圓制造、MEMS制造,以及功率器件制造領域。

詳細介紹

單晶圓清洗設備

• 沉積前清洗

• 蝕刻后清洗

• CMP后清洗

• RCA標準清洗

• W Loop后清洗

• Cu Loop后清洗

• 去除BEOL聚合物

• 深層Trench/Via清洗

• 薄膜去除

• TSV后清洗

• EPI前清洗

• ALD前清洗




主要優(yōu)勢和特性規(guī)格(Ultra C II & Ultra C V & Ultra C VI)

可配8腔體,12腔體和18腔體,產能可達225片/小時,375片/小時和800片/小時

具有雙面清洗的能力,最多可配至5種清洗藥液,如:DHF, DSP+, f-DIW, FOM, SC1, SC2, DIO3, ST250, EKC580, NE111, IPA或配方藥液;集成式藥液供給模塊

最多可回收2種藥液,低COO

可選配常溫IPA或者高溫IPA增強型干燥技術

可選配氮氣霧化DIW二流體清洗或氮氣霧化SC1二流體清洗來輔助去除顆粒雜質

可選配盛美SAPS兆聲波技術進行平坦表面或深孔結構中的濕法清洗

可選配盛美TEBO兆聲波技術對圖形片來進行高效無損傷清洗

設備尺寸:Ultra C II 2.35m x 5.53m x 2.85m, Ultra C V 2.35m x 6.7m x 2.85m, Ultra C VI 2.35米×6.30米×2.85米 (寬×長×高)

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