nXDS 干式渦旋泵
Edwards nXDS 具備出色的抽排能力、的真空性能和的設計特性,性能居同類產(chǎn)品。
nXDS 泵在傳統(tǒng) XDS 泵的基礎上進行改進,提高了抽取速度,降低了極限壓力、功耗和噪音 - 噪音只有其他泵的二十分之一。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽,包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 泵還采用了的端部密封技術,顯著延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動提供整體優(yōu)化的泵送性能。
nXDS 泵可進行現(xiàn)場維修。其智能控制功能和長達五年的維修間隔帶來較低的擁有成本,使其成為應用于當今技術的小型干泵的。
工作環(huán)境更好,環(huán)境影響低:
安靜運轉
操作簡單:
智能且易于使用控制
無污染且不需要處理油:
采用密封結構,實現(xiàn)了無潤滑劑真空環(huán)境
低擁有 成本:
長維修間隔和低功耗
更快的制程:
出色的蒸汽處理能力
應用
一般清潔泵送
電子掃描顯微鏡 (SEM)
射束線和高能物理
前級渦輪泵
超高速離心機
主要特性和優(yōu)勢
真空外殼中 不需要使用潤滑劑,密封可保證的清潔和干燥真空, 防止交叉污染
無大氣壓到 真空的軸封可使軸承隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能 以更低溫度運行,使用時間更長
簡單的單側 滾軸布置與創(chuàng)新的電機和軸承設計相結合,只需程度的 特殊工具,就能實現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務,因此可降低運行成本, 盡可能延長正常運行時間
改進了電機和 傳動效率,可降低功耗和運行成本
的接口 提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法,可通過 USB、RS232 或 RS485 實現(xiàn) 遠程控制/監(jiān)視
泵系列
下一代無油的干式渦旋泵,可在各種應用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了傳統(tǒng) XDS 泵的性能,抽取速度更高,極限壓力更低,功耗更低,噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽,包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 泵還采用了的端部密封技術,顯著延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動提供整體優(yōu)化的泵送性能,nXDS 泵可進行現(xiàn)場維修。
nXDS6i
nXDS10i
nXDS15i
nXDS20i
nXDS-C