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愛德華IH系列干泵維修

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品       牌

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

iH高真空干泵我們的iH干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品）提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案

詳細(xì)介紹

iH 高真空干泵 

我們的 iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品） 提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列 具有五級(jí)主泵，使用創(chuàng)新的懸臂式轉(zhuǎn)子、爪式和羅茨 設(shè)計(jì)，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺(tái)單級(jí)機(jī)械增壓泵和 封閉的水冷卻電機(jī)。

 

應(yīng)用

負(fù)載鎖定

轉(zhuǎn)換

計(jì)量

平版印刷

PVD 制程

PVD 預(yù)清潔

RTA

剝離/灰化

刻蝕

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

功能與優(yōu)勢(shì)

優(yōu)化了設(shè)施消耗

無(wú)需預(yù)防性維護(hù)

懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理


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