東莞東歐真空設(shè)備有限公司
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更新時間：2025-01-09 09:06:22瀏覽次數(shù)：次
聯(lián)系我時，請告知來自 百分零部件網(wǎng)EPX180真空干泵EPX系列支持清潔和輕型半導(dǎo)體加工應(yīng)用，如灰化/剝離和注入端點站應(yīng)用
EPX 180真空干泵
EPX 系列支持清潔和輕 型半導(dǎo)體加工應(yīng)用，如灰化/剝離和注入端點 站應(yīng)用。
EPX 系列以極輕、極小的 封裝提供工具上泵送功能，可實現(xiàn)異常清潔的真空。EPX 泵 采用已獲的單軸再生 Holweck? 分級機構(gòu)， 能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-7Torr 的極限壓力。
EPX 泵能夠以模塊化組件 提供增強的性能，既可集成到制程工具，又可以遠程 安裝。此外，通過集成的 MicroTIM 電子模塊還可以與制程工具 輕松建立通信連接。
應(yīng)用
目標(biāo)應(yīng)用包括：
負載鎖
計量
傳輸腔
灰化/剝離
PVD
主要特性和優(yōu)勢
占地面積小且重量輕 - 作為可用的 最小工具上泵之一，EPX 顯著節(jié)省了 占地面積。鋁制構(gòu)造使其重量輕巧，增加了安裝 選項。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級管道和 安裝成本，如果需要也可遠程使用。
受保護的泵機構(gòu) - EPX 可以從大氣壓抽空到 UHV 級基準(zhǔn)壓力并可在所有入口壓力下連續(xù)運轉(zhuǎn)。
超清潔機構(gòu) - 傳統(tǒng)的高真空軸承使用油脂潤滑，這可能成為制程 工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承油脂，并且不存在 任何其他的潛在污染源。
非?？煽?- EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年維修一次，地延長了泵的 使用壽命。
運轉(zhuǎn)時的噪聲低至 56 dB(A)，可在潔凈室內(nèi)實現(xiàn)低噪聲。
泵系列
EPX180L、LE、N、NE
EPX180 TwinL、LE、N、NE
EPX500L、LE、N、NE
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