北京特思迪半導體設備有限公司
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更新時間：2023-09-03 17:48:48瀏覽次數(shù)：254次
聯(lián)系我時，請告知來自 百分零部件網(wǎng)全自動減薄機是一款功能全面，兼容性好，配置豐富，全自動系統(tǒng)的高精度研磨設備，全自動上下片，干進干出的全自動研削系統(tǒng)；自動厚度測量 多段研削程序 超負載等待；可磨削各類半導體材料 兼容6&8英寸晶圓減?。浑p軸研削單元 三工作臺加工。
自動厚度測量 多段研削程序 超負載等待
可磨削各類半導體材料 兼容6&8英寸晶圓減薄
全自動上下片，干進干出的全自動研削系統(tǒng)
雙軸研削單元 三工作臺加工
| 項目 | TFG-3200 |
| 晶圓尺寸 | 8 英寸 |
| 砂輪規(guī)格 | ?303(OD)mm |
| 砂輪軸數(shù)量 | 2個 |
| 砂輪軸功率 | 9.5kW |
| 砂輪軸轉(zhuǎn)速范圍 | 0~4000 RPM |
| 工作臺轉(zhuǎn)速 | 0~300 RPM |
| 工作臺移動方式 | Index轉(zhuǎn)位式 |
| Z軸進給速度 | 0.1~1000 um /sec |
| 厚度在線測量方式 | IPG,實時測厚 |
| 厚度在線測量范圍（OMM） | 0-1800um |
| NCG非接觸實時測厚系統(tǒng) | 可選配 |
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