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半自動(dòng)雙軸減薄機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時(shí)間：2023-08-08 13:09:24瀏覽次數(shù)：221次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：17條

所在地區(qū)：北京北京市

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

半自動(dòng)雙軸減薄機(jī)是一款安裝兩個(gè)砂輪軸的高精度研削設(shè)備，采用手動(dòng)裝片方式，配置自動(dòng)厚度測(cè)量和補(bǔ)償系統(tǒng)，產(chǎn)品粗磨后移動(dòng)至精磨位置，自動(dòng)研削至目標(biāo)值。工作臺(tái)可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制化，應(yīng)用廣泛。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 功能全面

    功能全面

    具有自動(dòng)測(cè)厚補(bǔ)償、多段研削程序、超負(fù)載等待等功能，滿足各類工藝需求

  • 雙軸系統(tǒng)

    雙軸系統(tǒng)

    兩個(gè)砂輪軸，無(wú)需更換砂輪即可完成粗磨+精磨加工

  • 操作簡(jiǎn)便

    操作簡(jiǎn)便

    PC工控機(jī)系統(tǒng)，觸摸屏操控，除手動(dòng)上、下片外一鍵式自動(dòng)完成研削加工

  • 兼容性好

    兼容性好

    可根據(jù)客戶需求定制各類工作臺(tái)，滿足各類半導(dǎo)體材料的研削薄化工藝

性能參數(shù)

項(xiàng)目 IVG-2035 IVG-3035
晶圓尺寸 8英寸 12英寸
砂輪主軸數(shù)量 2個(gè) 2個(gè)
砂輪規(guī)格 ?203(OD)mm ?303(OD)mm
砂輪軸轉(zhuǎn)速范圍 0~6000 RPM 0~4000 RPM
工作臺(tái)轉(zhuǎn)速 0~400 RPM 0~260 RPM
Z軸行程 130mm 130mm
Z軸進(jìn)給速度 0.1~1000 um /sec
可選配最小0.01um/sec		 0.1~1000 um /sec
可選配最小0.01um/sec
厚度在線測(cè)量分辨率 0.1um 0.1um
厚度在線測(cè)量重復(fù)精度 ±0.001 mm ±0.001 mm
SECE/GEM、MES系統(tǒng) 可選配 可選配

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