北京特思迪半導體設備有限公司
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更新時間：2023-08-08 13:09:24瀏覽次數：277次
聯(lián)系我時，請告知來自 百分零部件網半自動雙軸減薄機是一款安裝兩個砂輪軸的高精度研削設備，采用手動裝片方式，配置自動厚度測量和補償系統(tǒng)，產品粗磨后移動至精磨位置，自動研削至目標值。工作臺可根據客戶需求進行定制化，應用廣泛。
具有自動測厚補償、多段研削程序、超負載等待等功能，滿足各類工藝需求
兩個砂輪軸，無需更換砂輪即可完成粗磨+精磨加工
PC工控機系統(tǒng)，觸摸屏操控，除手動上、下片外一鍵式自動完成研削加工
可根據客戶需求定制各類工作臺，滿足各類半導體材料的研削薄化工藝
| 項目 | IVG-2035 | IVG-3035 |
| 晶圓尺寸 | 8英寸 | 12英寸 |
| 砂輪主軸數量 | 2個 | 2個 |
| 砂輪規(guī)格 | ?203(OD)mm | ?303(OD)mm |
| 砂輪軸轉速范圍 | 0~6000 RPM | 0~4000 RPM |
| 工作臺轉速 | 0~400 RPM | 0~260 RPM |
| Z軸行程 | 130mm | 130mm |
| Z軸進給速度 | 0.1~1000 um /sec 可選配最小0.01um/sec | 0.1~1000 um /sec 可選配最小0.01um/sec |
| 厚度在線測量分辨率 | 0.1um | 0.1um |
| 厚度在線測量重復精度 | ±0.001 mm | ±0.001 mm |
| SECE/GEM、MES系統(tǒng) | 可選配 | 可選配 |
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