北京特思迪半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)
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所 在 地北京市
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更新時(shí)間：2023-08-08 13:07:58瀏覽次數(shù)：171次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 百分零部件網(wǎng)全自動(dòng)減薄機(jī)是配有全自動(dòng)上、下片系統(tǒng)的高精度研削設(shè)備，采用晶圓機(jī)械手取片，帶有自動(dòng)對(duì)中、清洗、干燥功能，可實(shí)現(xiàn)盒到盒、干進(jìn)干出的全自動(dòng)減薄拋光研削加工。
具有自動(dòng)測厚補(bǔ)償、多段研削程序、超負(fù)載等待等功能，滿足各類工藝需求
可配置單軸、雙軸研削單元
全自動(dòng)上下片，干進(jìn)干出的全自動(dòng)研削系統(tǒng)
可根據(jù)客戶需求定制各類工作臺(tái)，滿足各類半導(dǎo)體材料的研削薄化工藝
| 項(xiàng)目 | IVG-2040 | IVG-2045 | IVG-3040 | IVG-3045 |
| 晶圓尺寸 | 8英寸 | 8英寸 | 12英寸 | 12英寸 |
| 砂輪主軸數(shù)量 | 1個(gè) | 2個(gè) | 1個(gè) | 2個(gè) |
| 砂輪規(guī)格 | ?203(OD)m | ?203(OD)m | ?303(OD)m | ?303(OD)m |
| 砂輪軸轉(zhuǎn)速范圍 | 0~6000 RPM | 0~6000 RPM | 0~4000 RPM | 0~4000 RPM |
| 工作臺(tái)轉(zhuǎn)速 | 0~400 RPM | 0~400 RPM | 0~260 RPM | 0~260 RPM |
| Z軸行程 | 130mm | 130mm | 130mm | 130mm |
| Z軸進(jìn)給速度 | 0.1~1000 um /sec 可選配最小 0.01um/sec | 0.1~1000 um /sec 可選配最小 0.01um/sec | 0.1~1000 um /sec 可選配最小 0.01um/sec | 0.1~1000 um /sec 可選配最小 0.01um/sec |
| 厚度在線測量分辨率 | 0.1um | 0.1um | 0.1um | 0.1um |
| 厚度在線測量重復(fù)精度 | ±0.001 mm | ±0.001 mm | ±0.001 mm | ±0.001 mm |
| SECE/GEM、MES系統(tǒng) | 可選配 | 可選配 | 可選配 | 可選配 |
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