盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
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盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
盛美成立于2005年，是一家注冊(cè)在上海浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)、具備技術(shù)的半導(dǎo)體設(shè)備制造商。公司集研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷(xiāo)售于一體，主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體清洗設(shè)備、半導(dǎo)體電鍍?cè)O(shè)備和*封裝濕法設(shè)備等。公司堅(jiān)持差異化競(jìng)爭(zhēng)和創(chuàng)新的發(fā)展戰(zhàn)略，通過(guò)自主研發(fā)的單片兆聲波清洗技術(shù)、單片槽式組合清洗技術(shù)、電鍍技術(shù)、無(wú)應(yīng)力拋光技術(shù)和立式爐管技術(shù)等，向晶圓制造、*封裝及其他客戶(hù)提供定制化的設(shè)備及工藝解決方案，有效提升客戶(hù)的生產(chǎn)效率、提升產(chǎn)品良率并降低生產(chǎn)成本。盛美具有企業(yè)資質(zhì)，承擔(dān)十一五國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)課題“65-45nm銅互連無(wú)應(yīng)力拋光設(shè)備研發(fā)項(xiàng)目"的研發(fā)和十二五國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)課題“20-14nm銅互連鍍銅設(shè)備研發(fā)與應(yīng)用"和“45-22納米單片晶圓清洗裝備研發(fā)與應(yīng)用"的研發(fā)。公司立足自主創(chuàng)新，通過(guò)多年的技術(shù)研發(fā)和工藝積累，成功研發(fā)出創(chuàng)的 SAPS/TEBO 兆聲波清洗技術(shù)和 Tahoe 單片槽式組合清洗技術(shù)，可應(yīng)用于 28nm及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)的晶圓清洗領(lǐng)域，可有效解決刻蝕后有機(jī)沾污和顆粒的清洗難題，并大幅減少濃硫酸等化學(xué)試劑的使用量，在幫助客戶(hù)降低生產(chǎn)成本的同時(shí)，滿(mǎn)足節(jié)能減排的要求。盛美憑借*的技術(shù)和豐富的產(chǎn)品線(xiàn)，已發(fā)展成為中國(guó)大陸少數(shù)具有一定國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備提供商，產(chǎn)品得到眾多國(guó)內(nèi)外主流半導(dǎo)體廠商的認(rèn)可，并取得良好的市場(chǎng)口碑。
清洗設(shè)備
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