產(chǎn)品展示
TG—10-12、TG—26-30
【簡單介紹】
【詳細說明】
機型\項目 | TG—10-12 | TG—14-16 | TG—20-24 | TG—26-30 | TG—32-36 | TG—36-40 |
鍍膜室規(guī)格 | ? 1300-1600*1500-1750mm | ? 1400-1600*1600-2200mm | ? 1500-1600*3500mm | ? 1800-1900*3600mm | ? 2000-2300*3600mm | ? 2300-3000*3000-3600mm |
極限真空度 | ≤7.6×10-4Pa | |||||
冷態(tài)抽真空時間 | 從1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分鐘 | |||||
機組配置 | KT-600擴散泵機組 | KT-630擴散泵機組 | KT-800擴散泵機組 | 2套KT-800擴散泵機組 | 2套KT-1000擴散泵機組 | 2套KT-1000擴散泵機組 |
蒸發(fā)源配置 | 10 | 12 | 20 | 24 | 32 | 40 |
配電要求 | 60KW | 80KW | 120KW | 160KW | 180KW | 230KW |
廠房要求 | 一層總高6.5米 | 一層總高6.5米 | 一層總高6.5米 | 二層總高9.2米 | 二層總高9.5米 | 一層400平方米 |
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