產(chǎn)品展示
TG5、TG6-9
【簡單介紹】
【詳細(xì)說明】
機型\項目 | TG5 | TG6-9 | |
鍍膜室規(guī)格 | ?700mm -800mm *800mm -880mm | ?900mm -1000mm *1000mm -1200mm | |
極限真空度 | ≤7.6×10-4Pa | ||
冷態(tài)抽真空時間 | 從1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分鐘 | ||
機組配置 | KT-400擴散泵機組 | KT-400擴散泵機組 或KT-500擴散泵機組 | KT-600擴散泵機組 |
靶配置 | 5個電弧靶1個磁控靶 | 6-9個電弧靶2個磁控靶 | 2個大面積弧靶2對孿生靶 |
配電要求 | 40KW | 50KW | 60KW |
備注 | 可根據(jù)用戶產(chǎn)品、產(chǎn)量、膜層特殊要求設(shè)計制造非標(biāo)設(shè)備 |
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