STP-XA2703C渦輪泵為高真空到2300sccm制程流的制程范圍內(nèi)提供高性能，并提高氣體的吞吐量。此泵基于新的平臺設計，提供功能以改善熱管理，從而增強在嚴苛制程中的性能，提高大制程流能力，并減少腐蝕和沉積的影響。