百分零部件網(wǎng)供求商機(jī)供應(yīng)信息半自動(dòng)雙軸減薄機(jī)
2025-02-15
具有自動(dòng)測(cè)厚補(bǔ)償、多段研削程序、超負(fù)載等待等功能,滿(mǎn)足各類(lèi)工藝需求
兩個(gè)砂輪軸,無(wú)需更換砂輪即可完成粗磨+精磨加工
PC工控機(jī)系統(tǒng),觸摸屏操控,除手動(dòng)上、下片外一鍵式自動(dòng)完成研削加工
可根據(jù)客戶(hù)需求定制各類(lèi)工作臺(tái),滿(mǎn)足各類(lèi)半導(dǎo)體材料的研削薄化工藝
項(xiàng)目 | IVG-2035 | IVG-3035 |
晶圓尺寸 | 8英寸 | 12英寸 |
砂輪主軸數(shù)量 | 2個(gè) | 2個(gè) |
砂輪規(guī)格 | ?203(OD)mm | ?303(OD)mm |
砂輪軸轉(zhuǎn)速范圍 | 0~6000 RPM | 0~4000 RPM |
工作臺(tái)轉(zhuǎn)速 | 0~400 RPM | 0~260 RPM |
Z軸行程 | 130mm | 130mm |
Z軸進(jìn)給速度 | 0.1~1000 um /sec 可選配最小0.01um/sec | 0.1~1000 um /sec 可選配最小0.01um/sec |
厚度在線(xiàn)測(cè)量分辨率 | 0.1um | 0.1um |
厚度在線(xiàn)測(cè)量重復(fù)精度 | ±0.001 mm | ±0.001 mm |
SECE/GEM、MES系統(tǒng) | 可選配 | 可選配 |
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)說(shuō)明是在百分零部件網(wǎng)上看到的,謝謝
百分零部件網(wǎng) - 零部件行業(yè)專(zhuān)業(yè)網(wǎng)絡(luò)宣傳媒體
Copyright 100lbj.com All Rights Reserved法律顧問(wèn):浙江天冊(cè)律師事務(wù)所 賈熙明律師