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行業(yè)產(chǎn)品

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北京特思迪半導(dǎo)體設(shè)備有限公司


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TSP-810/910/1270

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時(shí)間：2023-08-08 13:13:11瀏覽次數(shù)：252次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：17條

所在地區(qū)：北京北京市

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

該系列設(shè)備是高精度四軸單面拋光設(shè)備，可選配銅盤(pán)、錫盤(pán)、不銹鋼盤(pán)等，適用于多種半導(dǎo)體材料的高精密拋光，滿足大批量產(chǎn)業(yè)化需求。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 氣缸加壓，壓力控制精確

    氣缸加壓，壓力控制精確

  • 拋光頭主動(dòng)驅(qū)動(dòng)

    拋光頭主動(dòng)驅(qū)動(dòng)

  • 拋光盤(pán)溫度控制系統(tǒng)

    拋光盤(pán)溫度控制系統(tǒng)

  • 人機(jī)對(duì)話操作界面，功能全面，操作簡(jiǎn)便

    人機(jī)對(duì)話操作界面，功能全面，操作簡(jiǎn)便

性能參數(shù)

規(guī)格/型號(hào) TSP-810 TSP-910 TSP-1270
陶瓷盤(pán)規(guī)格 305mm 360mm 485mm
拋光頭數(shù)量 4 4 4
拋光盤(pán)轉(zhuǎn)速范圍 0~90 RPM 0~90 RPM 0~60 RPM
拋光頭轉(zhuǎn)速范圍 0~90 RPM 0~90 RPM 0~90 RPM
拋光頭壓力 30-300kgf 30-300kgf 30-250kgf
設(shè)備尺寸 1500(W)×1850(D)×2600(H) 1500(W)×1850(D)×2600(H) 2260(W)×3245(D)×2550(H)
設(shè)備重量 3000kg 3500kg 8000kg
硬軌液壓車刀系統(tǒng) 可選配 可選配 可選配
耐腐蝕涂層 可選配 可選配 可選配

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