北京特思迪半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)
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所 在 地北京市
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更新時(shí)間：2023-08-08 13:13:11瀏覽次數(shù)：252次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 百分零部件網(wǎng)該系列設(shè)備是高精度四軸單面拋光設(shè)備，可選配銅盤(pán)、錫盤(pán)、不銹鋼盤(pán)等，適用于多種半導(dǎo)體材料的高精密拋光，滿足大批量產(chǎn)業(yè)化需求。
| 規(guī)格/型號(hào) | TSP-810 | TSP-910 | TSP-1270 |
| 陶瓷盤(pán)規(guī)格 | 305mm | 360mm | 485mm |
| 拋光頭數(shù)量 | 4 | 4 | 4 |
| 拋光盤(pán)轉(zhuǎn)速范圍 | 0~90 RPM | 0~90 RPM | 0~60 RPM |
| 拋光頭轉(zhuǎn)速范圍 | 0~90 RPM | 0~90 RPM | 0~90 RPM |
| 拋光頭壓力 | 30-300kgf | 30-300kgf | 30-250kgf |
| 設(shè)備尺寸 | 1500(W)×1850(D)×2600(H) | 1500(W)×1850(D)×2600(H) | 2260(W)×3245(D)×2550(H) |
| 設(shè)備重量 | 3000kg | 3500kg | 8000kg |
| 硬軌液壓車刀系統(tǒng) | 可選配 | 可選配 | 可選配 |
| 耐腐蝕涂層 | 可選配 | 可選配 | 可選配 |
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