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百分零部件網(wǎng)供求商機供應信息半自動單軸減薄機

半自動單軸減薄機

2024-11-16

產(chǎn)品圖片
產(chǎn)地：
暫無
所在地：
北京北京市

產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品特點

  • 功能全面

    功能全面

    具有自動測厚補償、多段研削程序、超負載等待等功能，滿足各類工藝需求

  • 操作簡便

    操作簡便

    PC工控機系統(tǒng)，觸摸屏控制，除手動上、下片外一鍵式自動完成研削加工

  • 兼容性好

    兼容性好

    可根據(jù)客戶需求定制化各類工作臺，滿足各類半導體材料的研削薄化工藝

  • 占地面積小

    占地面積小

    盡量減少潔凈間的占地面積

性能參數(shù)

項目 IVG-2020 IVG-3020
晶圓尺寸 8英寸 12英寸
砂輪規(guī)格 ?203(OD)mm ?303(OD)mm
砂輪軸轉速范圍 0~6000 RPM 0~4000 RPM
工作臺轉速 0~400 RPM 0~260 RPM
Z軸行程 130mm 130mm
Z軸進給速度 0.1~1000 um /sec
可選配最小0.01um/sec		 0.1~1000 um /sec
可選配最小0.01um/sec
厚度在線測量分辨率 0.1um 0.1um
厚度在線測量重復精度 ±0.001 mm ±0.001 mm
SECE/GEM系統(tǒng) 可選配 可選配
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北京特思迪半導體設備有限

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其他
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商家概況

主營產(chǎn)品：
拋光設備
主營業(yè)務：

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