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概述

小巧而的 Edwards STPA1603C 渦輪分子泵采用 Edwards 的轉(zhuǎn)子進(jìn)行設(shè)計(jì)。它提供的吞吐量、高的性和的性能，滿足半導(dǎo)體制程的需要。其半機(jī)架的控制器和緊湊型設(shè)計(jì)可節(jié)省可觀的空間，而其的沉積減少系統(tǒng)提高了性和性能。STPA1603C 已經(jīng)在新的 200 mm 刻蝕工具上得到了證明，也能夠滿足 300 mm 氧化物腐蝕制程的需要。

應(yīng)用

金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站
MBE
擴(kuò)散
光致抗蝕劑脫模
晶體/晶膜生長(zhǎng)
晶片檢查
負(fù)載鎖真空腔
科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
高能物理：射束線、加速器
放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋

功能和優(yōu)勢(shì)

的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)

改進(jìn)的性能
更高的氣體吞吐量
高度
免維護(hù)
可用于嚴(yán)苛制程

5 軸磁懸浮系統(tǒng)

無污染
低振動(dòng)

防腐蝕

可用于嚴(yán)苛制程
使用壽命延長(zhǎng)

緊湊型設(shè)計(jì)

占地面積小
半機(jī)架控制器

的控制器設(shè)計(jì)

自動(dòng)調(diào)整
自行診斷功能
直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)
無電池運(yùn)行

數(shù)據(jù)

入口法蘭	ISO200F
	KF40
吹掃口	KF16
水冷卻接頭	PT1/4
抽速
N2	1600 ls-1
H2	1200 ls-1
壓縮比
N2	>108
H2	>7 x 103
加熱時(shí)的極限壓力	10-7 Pa
大允許前級(jí)壓力	266 Pa
	(2 Torr)
大氮?dú)馔掏铝?	2500 sccm
額定速度	36500 rpm
啟動(dòng)時(shí)間	7 分鐘
固定位置	任意
水冷卻流量	2 lmin-1
溫度	5-25 °C
壓力	0.3 MPa
的吹掃氣體流量	20 sccm
輸入電壓	200 至 240 (± 10) V 交流
功耗	0.85 kVA
泵重量	35 kg
控制器重量	9 kg

上海赫哲真空設(shè)備有限公司成立于2011年，是一家以Edwards真空泵代理銷售、維修及真空系統(tǒng)集成定制為主的企業(yè)。上海赫哲真空設(shè)備有限公司是Edwards真空泵真空熱處理行業(yè)代理商，主要銷售Edwards品牌旗下的真空泵、真空泵油、真空閥門、真空測(cè)量?jī)x表、氦質(zhì)譜檢漏儀、真空泵配件、真空泵維修包等，并提供Edwards真空泵維修保養(yǎng)服務(wù)。赫哲真空(Hertzian Vacuum)赫哲多名從業(yè)10余年以上工程師和的售后團(tuán)隊(duì)。赫哲真空在上海設(shè)有維修工廠，為客戶24小時(shí)提供所有銷售產(chǎn)品的支持及售后服務(wù)，公司干式真空泵、油式旋片真空泵、無油旋片真空泵，滑閥式真空泵，活塞式真空泵，爪式真空泵、多級(jí)羅茨真空泵，干式螺桿真空泵、羅茨真空泵、渦旋真空泵等真空泵類型的維修保養(yǎng)、各類治具和必要的部品，能應(yīng)客戶要求，對(duì)客戶工廠設(shè)置的真空機(jī)器、設(shè)備提供定期維修保養(yǎng)服務(wù)。赫哲真空?qǐng)F(tuán)隊(duì)可為不同需求客戶設(shè)計(jì)、定制真空系統(tǒng)（廠務(wù)真空系統(tǒng)），安裝、調(diào)試服務(wù)。目前赫哲真空定制的真空系統(tǒng)用于電子半導(dǎo)體、太陽能光伏、生物制藥、食品業(yè)、印刷業(yè)、汽車、自動(dòng)化工程等行業(yè)。

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