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STP-iXA4506 真空磁懸浮渦輪分子泵

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產(chǎn)品型號(hào)STP-iXA4506

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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Edwards STP-iXA4506 系列磁懸浮渦輪分子泵 (TMP) 使用的，為如今具有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用提供業(yè)內(nèi)的性能、更好的氣流能力和高溫管理。

詳細(xì)介紹

製品概要

Edwards STP-iXA4506 系列磁懸浮渦輪分子泵 (TMP) 使用的，為如今具有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用提供業(yè)內(nèi)的性能、更好的氣流能力和高溫管理。

用途

  • 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
  • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
  • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 濺射
  • 離子注入源，射束線泵送和站

特性與優(yōu)勢(shì)

    • 由于采用全集成控制器和電源，不需要電纜和單獨(dú)的
    • 控制器安裝卡槽，從而使 TMP 組件具有成本效益且結(jié)構(gòu)緊湊，能夠快速簡(jiǎn)單地安裝在狹小的空間。
    • 大連續(xù)流量達(dá) 4300 sccm (N2)，與 STP-XA4503 相比性能提高 50% 以上。
    • 使用高 35 °C 的冷卻水供應(yīng)時(shí)，泵能夠高效運(yùn)轉(zhuǎn)。
    • 提供了溫度管理系統(tǒng) (TMS) 裝置，用于處理在過程中產(chǎn)生的副產(chǎn)品。
    • I/O 遠(yuǎn)程、RS232C、RS485、STP-Link 是標(biāo)配端口。
    • UL 標(biāo)記，CE 標(biāo)記，符合 SEMI-S2 和 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)。

數(shù)據(jù)

法蘭
KF40
抽取速度

N2/H2 升/秒
VG300
3800/2700
ISO320F
4000/2700
VG350
4300/2700
VG400
4300/2700
壓縮比 N2/H2
>108 / 103
極限壓力 Pa (Torr) 10-7(10-9)
允許的前級(jí)壓力 Pa (Torr) 266(2)
大氣體流速 N2 1
4300
（僅水冷卻） (Pa m3/sec) (7.26)
大氣體流速 Ar 1
2600
（僅水冷卻） (Pa m3/sec) (4.39)
額定速度 rpm 24,240
啟動(dòng)時(shí)間 分鐘 11
固定位置
任何方向
輸入電壓 V 200-240
大輸入功率

不帶 TMS VA 1700
帶 TMS VA 2200
重量 kg
VG300
109
ISO320F
111
VG350
104
VG400
111

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