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STP-XA4503C 真空渦輪分子泵

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產(chǎn)品型號STP-XA4503C

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廠商性質(zhì)其他

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上海赫哲真空設備有限公司

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產(chǎn)品簡介

STP-XA4503C 磁力軸承渦輪分子泵具有很寬的制程范圍（從高真空到高流量要求），對氣體都具有更高的吞吐量。此泵基于新的設計，提供功能以改善熱管理，從而增強在嚴苛制程中的性能，提高大制程流能力，并減少腐蝕和沉積的影響。它設計成既可以處理溫和的應用，也可以處理嚴苛的應用，例如刻蝕、注入、光刻和 FPD 制程。

詳細介紹

製品概要

STP-XA4503C 磁力軸承渦輪分子泵具有很寬的制程范圍（從高真空到高流量要求），對氣體都具有更高的吞吐量。

此泵基于新的設計，提供功能以改善熱管理，從而增強在嚴苛制程中的性能，提高大制程流能力，并減少腐蝕和沉積的影響。

它設計成既可以處理溫和的應用，也可以處理嚴苛的應用，例如刻蝕、注入、光刻和 FPD 制程。

功能和優(yōu)勢

的轉(zhuǎn)子設計

改進的氬氣性能
同類產(chǎn)品中抽速高
寬的制程范圍
在較低壓力下具有較高的吞吐量
免維護
可用于嚴苛制程

5 軸磁懸浮系統(tǒng)

無污染
低振動
高度

經(jīng)優(yōu)化的溫度分配

低沉積
內(nèi)置冷卻機械裝置
更高的氣體吞吐量
使用壽命延長

符合標準
列于 UL 中，具有 CE 標記，符合 SEMI® S2

數(shù)據(jù)

入口法蘭尺寸	VF300、ISO320F、VG350
前級抽氣口尺寸	KF40
抽速
N2	3800 至 4300 ls-1
	（取決于具體型號）
H2	2500 ls-1
壓縮比
N2	>108
H2	6 x 103
極限壓力	10-7 Pa / 10-9 mbar
大允許前級壓力	266 Pa / 2.66 mbar
大允許氣體流量 N2 （僅水冷卻）	2800 sccm
	4.73 Pam3s-1
大允許氣體流量 Ar （僅水冷卻）	2150 sccm
	3.63 Pam3s-1
額定速度	24000 rpm
運轉(zhuǎn)到 90% 額定速度的時間	12 分鐘
固定位置	任何方向
水冷卻
流量	3 lmin-1
溫度	5 – 25 °C / 41 – 77 °F
壓力	0.3 MPa
的吹掃氣體流量 N2	50 sccm/8.4 x 10-2 Pam3s-1
輸入電壓	200 – 240 ±10 % V 交流
大輸入功率（不帶 TMS）	1.5 KVA