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製品概要

STP-iXA2206 系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)的性能，可將小型電源供給集成到機載控制器內(nèi)（成熟的 STP-iXA2205 系列的新）。該泵的高度等于 STP-A2203C 的高度，也等于 STP-iXA2205 系列（不帶其電源供給 (iPS-1200)）的高度。這一集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小，可作為應(yīng)用工具的一體化解決方案。

用途

金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送和站

特性與優(yōu)勢

緊湊型設(shè)計，包括集成的控制器
性自傳感磁力軸承系統(tǒng)
數(shù)字化 5 軸控制
與現(xiàn)有渦輪泵相比振動級別降低了 50%
可以配置為運行腐蝕性制程

數(shù)據(jù)

入口法蘭尺寸	ISO250F/VG250/ICF305
前級抽氣口尺寸	KF40
抽速 N2/Ar	2200/1900 ls-1
壓縮比 N2/H2	>108 / 1 x 104
極限壓力	10-7 Pa (10-9 Torr)
允許的前級壓力	266 Pa (2 Torr)
大氣流 N2 （僅水冷）	3000 sccm
	(5.07 Pam3s-1)
大氣流 Ar （僅水冷）	1400 sccm
	(2.36 Pam3s-1)
額定速度	27000 rpm
運轉(zhuǎn)到 90% 額定速度的時間	<8 分鐘
固定位置	任何方向
輸入電壓	200-240 V
大輸入功率（不帶 TMS）	1200 VA
重量	62 kg

大氣流適用于在 15-25 °C 之間的水冷卻溫度下連續(xù)泵送 N2 或 Ar 氣體，并且使用前級泵（10,000 l/min 大?。┑那闆r。它會隨條件變化而變化。

上海赫哲真空設(shè)備有限公司成立于2011年，是一家以Edwards真空泵代理銷售、維修及真空系統(tǒng)集成定制為主的企業(yè)。上海赫哲真空設(shè)備有限公司是Edwards真空泵真空熱處理行業(yè)代理商，主要銷售Edwards品牌旗下的真空泵、真空泵油、真空閥門、真空測量儀表、氦質(zhì)譜檢漏儀、真空泵配件、真空泵維修包等，并提供Edwards真空泵維修保養(yǎng)服務(wù)。赫哲真空(Hertzian Vacuum)赫哲多名從業(yè)10余年以上工程師和的售后團隊。赫哲真空在上海設(shè)有維修工廠，為客戶24小時提供所有銷售產(chǎn)品的支持及售后服務(wù)，公司干式真空泵、油式旋片真空泵、無油旋片真空泵，滑閥式真空泵，活塞式真空泵，爪式真空泵、多級羅茨真空泵，干式螺桿真空泵、羅茨真空泵、渦旋真空泵等真空泵類型的維修保養(yǎng)、各類治具和必要的部品，能應(yīng)客戶要求，對客戶工廠設(shè)置的真空機器、設(shè)備提供定期維修保養(yǎng)服務(wù)。赫哲真空團隊可為不同需求客戶設(shè)計、定制真空系統(tǒng)（廠務(wù)真空系統(tǒng)），安裝、調(diào)試服務(wù)。目前赫哲真空定制的真空系統(tǒng)用于電子半導體、太陽能光伏、生物制藥、食品業(yè)、印刷業(yè)、汽車、自動化工程等行業(yè)。

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