iH 高真空干泵
我們的 iH 干泵為高難度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品) 提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列 具有五級主泵,使用創(chuàng)新的懸臂式轉(zhuǎn)子、爪式和羅茨 設(shè)計,可改善粉塵的處理,減少排氣噪音。此外,iH 系列泵配有一臺單級機(jī)械增壓泵和 封閉的水冷卻電機(jī)。
應(yīng)用
負(fù)載鎖定
轉(zhuǎn)換
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
功能與優(yōu)勢
優(yōu)化了設(shè)施消耗
無需預(yù)防性維護(hù)
懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理