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單極性正脈沖磁控濺射電源
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蘭州精新電源設(shè)備有限公司·更新于2024-08-23 10:27:14·57次訪問(wèn)
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單極性正脈沖磁控濺射電源
點(diǎn):?jiǎn)螛O性正負(fù)脈沖磁控濺射電源是在直流磁控濺射電源基礎(chǔ)上增加單極性正脈斬波電路組合而成,除具有直流磁控濺射電源的優(yōu)點(diǎn)外,能明顯改善靶面電荷積累現(xiàn)象,減少濺射靶表面的打火次數(shù),提高膜層質(zhì)量,適用于金屬、合金及石墨等靶材鍍制純金屬膜,碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。
技術(shù)指標(biāo):
1.      交流輸入:?jiǎn)蜗?20VAC、三相380VAC,任選
2.      功率因數(shù):≥0.99(小功率電源)  ≥0.92(大功率電源)
3.      效率:≥0.86
4.      輸出空載電壓:≥1200V(定頻:空載電壓上下限不受限制,調(diào)頻:上限電壓可達(dá)2000V,其他廠家只能做到上限電壓<1000V
5.      輸出工作電壓:100V~1000V連續(xù)可調(diào)(定頻,工作電壓上限不受限制,調(diào)頻,上限電壓可達(dá)1000V,其他廠家只能做到600V)
6.      輸出電流:1A~120A,分10種規(guī)格:1KW、2KW、5KW、10KW、20KW、30KW、50KW、75KW、100 KW、
7.      工作方式:恒電壓、恒電流、恒功率任選
8.      輸出頻率:定頻,20KHz~200KHz任選(其它廠家只能做到40KHz);調(diào)頻,1KHz~40KHz(其它廠家只能做到20KHz)
9.      占 空 比:5~90%連續(xù)可調(diào)
10.  輸出波形:直流、正向脈沖或負(fù)向脈沖
11.  穩(wěn)流精度:≤1%
12.  環(huán)境溫度:-10℃~40℃
13.  冷卻方式:風(fēng)冷、水冷
供貨周期: 10天~3個(gè)月

 

蘭州精新電源設(shè)備有限公司位于蘭州國(guó)家開發(fā)區(qū)內(nèi),是專業(yè)從事電力電子技術(shù)及其相關(guān)產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的企業(yè)。公司擁有一批實(shí)力雄厚的專業(yè)技術(shù)人員。并以高等院校、科研院所的專家、教授為技術(shù)后盾。憑借的開關(guān)電源、脈沖功率技術(shù)、自動(dòng)控制技術(shù),以長(zhǎng)期研制生產(chǎn)核物理加速器、高穩(wěn)定度、高頻、高壓、高功率脈沖、三角波掃描、超導(dǎo)電源為基礎(chǔ),研發(fā)出一批具有國(guó)內(nèi)選進(jìn)水平、具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)并獲得多項(xiàng)國(guó)家的高、精、新電力電子產(chǎn)品。服務(wù)于核物理加速器工程、金屬表面處理工程、電力電信工程、石油化工工程、環(huán)保、治污、脫硫、除塵工程和工業(yè)自動(dòng)化工程。有數(shù)千臺(tái)特種電源服務(wù)于高能物理研究所,正、負(fù)電子對(duì)撞機(jī);近代物理研究所重離子加速器;離子治癌機(jī);上海應(yīng)用物理研究所第三代同步光源;等離子物理所核聚變工程;中國(guó)科技大學(xué)國(guó)家同步副射實(shí)驗(yàn)室;蘭州大學(xué)中子加速器國(guó)家大科學(xué)工程;清華大學(xué)、北京大學(xué)等百余所高等學(xué)府,在材料改性、表面處理、電化學(xué)領(lǐng)域發(fā)揮著中、國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室不可替代的作用。公司以誠(chéng)信為本,視提高中國(guó)特種電源,高頻、高壓、高功率、快脈沖電源技術(shù)為己任,銳意進(jìn)取、精益求精、不斷創(chuàng)新的技術(shù)形成核心競(jìng)爭(zhēng)力,以完善可靠的產(chǎn)品質(zhì)量和優(yōu)良售后服務(wù)立足于市場(chǎng),尤其是近年來(lái)研制生產(chǎn)的高功率脈沖磁控濺射電源,是繼德國(guó)、美國(guó)之后第三家自主研發(fā)成功的產(chǎn)品,在國(guó)內(nèi)屬;高頻磁控濺射電源、偏壓電源頻率高達(dá)600KHz,是進(jìn)品電源的替代產(chǎn)品,在某些領(lǐng)域可以取代射頻電源;高壓脈沖調(diào)制器、重復(fù)頻率可達(dá)40KHz ,脈沖電壓高達(dá)80KV,是離子注入工業(yè)CT、雷達(dá)重要核心組件;等離子電化學(xué)脈沖硬質(zhì)陽(yáng)極氧化電源、 陽(yáng)極微弧氧化電源、等離子體矩電源、等離子電化學(xué)脈沖拋光電源、單極脈沖氮化電源,其平均輸出功率可達(dá)2MW,屬水平;高頻高壓?jiǎn)螛O脈沖石數(shù)見不鮮脫水、脫鹽電源高壓直流疊加脈沖汅水處理電源,高頻高壓?jiǎn)螛O脈沖除塵電源,其頻率高達(dá)40 KHz,電壓超過(guò)100KV,技術(shù)在國(guó)內(nèi)處于水平;DEP介電電永電源,碳納米脈沖電解電源,納秒脈寬電解精細(xì)加工電,屬因內(nèi)研發(fā)成功關(guān)批量生產(chǎn)。
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