特點(diǎn):?jiǎn)螛O性正負(fù)脈沖磁控濺射電源是在直流磁控濺射電源基礎(chǔ)上增加單極性正脈斬波電路組合而成,除具有直流磁控濺射電源的優(yōu)點(diǎn)外,能明顯改善靶面電荷積累現(xiàn)象,減少濺射靶表面的打火次數(shù),提高膜層質(zhì)量,適用于金屬、合金及石墨等靶材鍍制純金屬膜,碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。 技術(shù)指標(biāo):
1. 交流輸入:?jiǎn)蜗?20VAC、三相380VAC,任選
2. 功率因數(shù):≥0.99(小功率電源) ≥0.92(大功率電源)
3. 效率:≥0.86
4. 輸出空載電壓:≥1200V(定頻:空載電壓上下限不受限制,調(diào)頻:上限電壓可達(dá)2000V,其他廠家只能做到上限電壓<1000V
5. 輸出工作電壓:100V~1000V連續(xù)可調(diào)(定頻,工作電壓上限不受限制,調(diào)頻,上限電壓可達(dá)1000V,其他廠家只能做到600V)
6. 輸出電流:1A~120A,分10種規(guī)格:1KW、2KW、5KW、10KW、20KW、30KW、50KW、75KW、100 KW、
7. 工作方式:恒電壓、恒電流、恒功率任選
8. 輸出頻率:定頻,20KHz~200KHz任選(其它廠家只能做到40KHz);調(diào)頻,1KHz~40KHz(其它廠家只能做到20KHz)
9. 占 空 比:5~90%連續(xù)可調(diào)
10. 輸出波形:直流、正向脈沖或負(fù)向脈沖
11. 穩(wěn)流精度:≤1%
12. 環(huán)境溫度:-10℃~40℃
13. 冷卻方式:風(fēng)冷、水冷
供貨周期: 10天~3個(gè)月