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單極性正脈沖磁控濺射電源

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更新時間：2024-08-23 10:27:14瀏覽次數(shù)：55次

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蘭州精新電源設備有限公司

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產(chǎn)品簡介

單極性正脈沖磁控濺射電源特點：單極性正負脈沖磁控濺射電源是在直流磁控濺射電源基礎上增加單極性正脈斬波電路組合而成

詳細介紹

單極性正脈沖磁控濺射電源

特點：單極性正負脈沖磁控濺射電源是在直流磁控濺射電源基礎上增加單極性正脈斬波電路組合而成，除具有直流磁控濺射電源的優(yōu)點外，能明顯改善靶面電荷積累現(xiàn)象，減少濺射靶表面的打火次數(shù)，提高膜層質(zhì)量，適用于金屬、合金及石墨等靶材鍍制純金屬膜，碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。

技術(shù)指標：

1. 交流輸入：單相220VAC、三相380VAC，任選

2. 功率因數(shù)：≥0.99（小功率電源） ≥0.92（大功率電源）

3. 效率：≥0.86

4. 輸出空載電壓：≥1200V（定頻：空載電壓上下限不受限制，調(diào)頻：上限電壓可達2000V，其他廠家只能做到上限電壓＜1000V

5. 輸出工作電壓：100V～1000V連續(xù)可調(diào)（定頻，工作電壓上限不受限制，調(diào)頻，上限電壓可達1000V，其他廠家只能做到600V）

6. 輸出電流：1A～120A，分10種規(guī)格：1KW、2KW、5KW、10KW、20KW、30KW、50KW、75KW、100 KW、

7. 工作方式：恒電壓、恒電流、恒功率任選

8. 輸出頻率：定頻，20KHz～200KHz任選（其它廠家只能做到40KHz）；調(diào)頻，1KHz～40KHz（其它廠家只能做到20KHz）

9. 占空比：5～90%連續(xù)可調(diào)

10. 輸出波形：直流、正向脈沖或負向脈沖

11. 穩(wěn)流精度：≤1%