要提高羅茨真空泵的極限真空度，可以考慮以下幾個(gè)方面：

使用前級(jí)泵：將一個(gè)或多個(gè)前級(jí)泵與羅茨真空泵串聯(lián)使用。常見的前級(jí)泵包括旋片泵、渦旋分子泵、離心泵等。前級(jí)泵能夠?qū)怏w抽取到較低的壓力范圍，然后再由羅茨真空泵進(jìn)一步抽取，從而提高整個(gè)系統(tǒng)的極限真空度。

優(yōu)化密封系統(tǒng)：確保羅茨真空泵的密封系統(tǒng)良好，避免氣體泄漏。檢查和更換密封件，保持密封性能的良好狀態(tài)。

減少內(nèi)部泄漏：定期清洗和維護(hù)羅茨真空泵，防止積聚灰塵和污垢，以減少內(nèi)部泄漏。同時(shí)，注意排除可能導(dǎo)致泵內(nèi)部泄漏的因素，如損壞的密封件或零件。

控制運(yùn)行參數(shù)：合理控制羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速和功率，以及進(jìn)出口壓力。根據(jù)具體應(yīng)用需求，調(diào)整運(yùn)行參數(shù)，以達(dá)到的抽氣效果和極限真空度。

定期維護(hù)和保養(yǎng)：定期進(jìn)行羅茨真空泵的維護(hù)和保養(yǎng)，包括清潔、潤(rùn)滑、更換磨損零件等。保持泵的良好狀態(tài)，可以提高其性能和極限真空度。

需要注意的是，提高羅茨真空泵的極限真空度是一個(gè)綜合性的問題，需要根據(jù)具體的應(yīng)用場(chǎng)景和系統(tǒng)要求來進(jìn)行調(diào)整和優(yōu)化。