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GNAD600 精密研磨拋光機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時(shí)間：2024-10-11 09:45:17瀏覽次數(shù)：63次

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商鋪產(chǎn)品：33條

所在地區(qū)：北京北京市

產(chǎn)品簡介

精密研磨拋光系統(tǒng)適用于多種半導(dǎo)體晶圓的研磨減薄，底面、表面、端面的化學(xué)機(jī)械拋光。并可根據(jù)用戶工藝要求定制各種角度附件等非標(biāo)夾具附件，實(shí)現(xiàn)對(duì)非標(biāo)形狀樣品的拋光及角度拋光。 整機(jī)防腐，獨(dú)立可移動(dòng)式觸摸操控系統(tǒng)； 多通道進(jìn)料系統(tǒng)； 數(shù)字厚度監(jiān)測(cè)裝置，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)去除量； 工藝參數(shù)存儲(chǔ)以及定時(shí)功能； 配有工作位升級(jí)預(yù)留接口。

詳細(xì)介紹

  • • GNAD600系列精密研磨拋光系統(tǒng)獨(dú)立操控系統(tǒng)，整機(jī)防腐。
    • 主機(jī)所有參數(shù)均可在觸摸操控系統(tǒng)上進(jìn)行設(shè)定，可選擇無線或有線方式控制主機(jī)。
    • 夾具配備數(shù)字厚度監(jiān)測(cè)裝置；并配有獨(dú)立驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，且擺動(dòng)速度和擺動(dòng)幅度可以調(diào)節(jié)。
  • • 晶圓樣品通過抽真空的方式吸附在夾具底面，并可以根據(jù)用戶工藝要求定制各種角度附件等非標(biāo)夾具附件，并實(shí)現(xiàn)對(duì)非標(biāo)形狀樣品的拋光及角度拋光。
    • 研磨拋光盤轉(zhuǎn)速可以調(diào)節(jié)，且更換方便，大幅縮短工藝時(shí)間。
    • 多通道進(jìn)料系統(tǒng)，工作時(shí)料桶具有在線攪拌功能，并且滴料速度可以精確控制。
  • • 在線實(shí)時(shí)磨拋盤溫控及冷卻選配功能，盤溫接近預(yù)設(shè)溫度警戒值，設(shè)備會(huì)自動(dòng)啟動(dòng)冷卻功能，保持磨拋盤在工藝要求的溫度范圍內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn)工作。
    • 磨拋盤自動(dòng)沖洗選配功能，可實(shí)時(shí)在線沖洗磨拋工作區(qū)域。并且流速，清洗時(shí)間等參數(shù)可精確數(shù)控。
    • 設(shè)備定時(shí)功能，預(yù)設(shè)時(shí)間0-10小時(shí)。預(yù)設(shè)時(shí)間達(dá)到，設(shè)備自動(dòng)停機(jī)。
  • 適用的材料包括：
    • 硅基材料（Si，a-Si，poly Si）
    • III-V材料（GaAs、InP、GaSb等）
    • 第三代半導(dǎo)體材料（SiC、GaN 等）
    • 紅外材料（CZT、MCT等）
    • 光電材料（LiNbO?、LiTaO?、SiO?等）
    • 金屬材料（Au、Cu、Al、Mo、TC4等）
  • 應(yīng)用的范圍包括:
    • MEMS
    • 半導(dǎo)體器件
    • 半導(dǎo)體襯底
    • 封裝
項(xiàng)目 參數(shù)
電源: 220-240v 10A
110v 10A
50-60HZ
環(huán)境溫度: 20°C ± 5°C
環(huán)境濕度: <>
晶圓尺寸: 4” x 1/2/3
6” x 1/2
工作盤直徑: 300mm / 420mm
擺臂驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)速: 0-100rpm / 0-120rpm / 0-500rpm
盤轉(zhuǎn)速: 0-100rpm / 0-120rpm
定時(shí)時(shí)間: 0-10小時(shí)
進(jìn)料通道: ≥ 3

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