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激光平面干涉儀

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更新時間：2024-10-11 09:22:33瀏覽次數：53次

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產品簡介

激光平面干涉儀是一種使用方便的光學精密計量儀器，主要用于精密測量光學平面度。該儀器可用于光學車間、實驗室、計量室。

詳細介紹

  • 測量方式：斐索干涉原理            
    通光口徑：60mm                 
    測試波長：635nm（半導體激光器）   
    對準方式：簡單兩點對準             
    對準視場：±0.5度                  
    平面標準鏡精度：PV：λ/10
  • 適用的材料包括：
    • 硅基材料（Si，a-Si，poly Si）
    • III-V材料（GaAs、InP、GaSb等）
    • 第三代半導體材料（SiC、GaN 等）
    • 紅外材料（CZT、MCT等）
    • 光電材料（LiNbO?、LiTaO?、SiO?等）
    • 金屬材料（Au、Cu、Al、Mo、TC4等）
  • 應用的范圍包括:
    • MEMS
    • 半導體器件
    • 半導體襯底
    • 封裝

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