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行業(yè)產(chǎn)品

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北京吉兆源科技有限公司


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1KW自動(dòng)匹配器(帶顯示)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:11條

所在地區(qū):北京北京市

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品描述*功率:600W/、1KW 頻率:13.56MHz*系統(tǒng)采用高速配算法,即使系統(tǒng)處于高Q值也可在接近匹配點(diǎn)時(shí)減速,達(dá)到精確匹配效果*標(biāo)準(zhǔn)配置采用可調(diào)的L型匹配網(wǎng)絡(luò),滿足絕大部分負(fù)載要求,也可根據(jù)客戶負(fù)載陰抗設(shè)計(jì)配置匹配網(wǎng)絡(luò),實(shí)現(xiàn)自動(dòng)匹配*內(nèi)置數(shù)字功率計(jì),可現(xiàn)實(shí)入射功率、反射功率、指示精度3%,有效彌補(bǔ)國(guó)內(nèi)電源功率指示不標(biāo)準(zhǔn)問題

詳細(xì)介紹

1KW自動(dòng)匹配器(帶顯示)

1KW自動(dòng)匹配器(帶顯示)

由國(guó)內(nèi)外提供技術(shù),國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的GMPOWER品牌射頻自動(dòng)匹配器,廣泛適用于等離子刻蝕體、鍍膜、清洗、等離子體增強(qiáng)、感應(yīng)加熱以及太陽(yáng)能制造設(shè)備PECVD制造中,具有功率覆蓋范圍大(50W-5KW)、匹配時(shí)間短(≤3秒)、指示功能全、操作簡(jiǎn)單等優(yōu)勢(shì),可通過數(shù)字接口實(shí)施計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)采集和控制,輕松實(shí)現(xiàn)時(shí)入射功率、反入射功率、直流偏壓等的精確測(cè)量。該匹配器與電源獨(dú)立,可配置AE、COMDEL、MKS、微電子中心等多家品牌的射頻電源,限度節(jié)約射頻系統(tǒng)成本.

  • 產(chǎn)品描述
  • *功率:600W/、1KW 頻率:13.56MHz
  • *系統(tǒng)采用高速配算法,即使系統(tǒng)處于高Q值也可在接近匹配點(diǎn)時(shí)減速,達(dá)到精確匹配效果
  • *標(biāo)準(zhǔn)配置采用可調(diào)的L型匹配網(wǎng)絡(luò),滿足絕大部分負(fù)載要求,也可根據(jù)客戶負(fù)載陰抗設(shè)計(jì)配置匹配網(wǎng)絡(luò),實(shí)現(xiàn)自動(dòng)匹配
  • *內(nèi)置數(shù)字功率計(jì),可現(xiàn)實(shí)入射功率、反射功率、指示精度3%,有效彌補(bǔ)國(guó)內(nèi)電源功率指示不標(biāo)準(zhǔn)問題

                                    1Kw有顯示

電源輸出

AC180-240V 50Hz

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng)冷

輸出電流

0.5A

機(jī)箱尺寸

450mm(長(zhǎng))*320mm(寬)*133.5(高)

射頻功率范圍

0-1KW

面板尺寸

480mm(長(zhǎng))*140mm()

射頻工作頻率

13.56MHz

重量

8kg

射頻輸入接頭

N型或UHF

 

 

射頻輸出接頭

N/UHF/銅帶型

 

 

用戶接口

DB15針接口,采用RS232、RS485通訊協(xié)議

 

 

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