詳細摘要: 編號內(nèi)容規(guī)格參數(shù)備注1整機結構帶load port系統(tǒng)分為前端設備操作單元、前端EFEM單元及等離子處理單元,前端EFEM系統(tǒng)與等離子體處理單元分體式設計2等離...
產(chǎn)品型號:所在地:蘇州市更新時間:2024-11-28 在線留言
奧坤鑫(蘇州)機電科技有限公司
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