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TG70F控制器一體型復合分子泵

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產品簡介

安裝型復合分子泵的優(yōu)點排氣范圍廣:低真空到超高真空的寬廣范圍內排氣大流量排氣:可排大流量的氣體迅速啟動:啟動快,可縮短待機時間耐振動耐沖擊:經得住壓力的急速上升,耐大氣沖擊能力強

詳細介紹

安裝型復合分子泵的優(yōu)點

排氣范圍廣:低真空到超高真空的寬廣范圍內排氣
大流量排氣:可排大流量的氣體
迅速啟動:啟動快,可縮短待機時間

耐振動耐沖擊:經得住壓力的急速上升,耐大氣沖擊能力強;且適用于受外部震動影響的使用環(huán)境


的耐久性:通過適當的維修可長期使用(泵的壽命達到10萬小時以上)

用途:半導體;FPD(LCD,PDP,有機EL,FED,其他)制造 ;各種電子部件的制造 ;管球制造,光學部件(鏡片,光學過濾器等)制造;尤其適用于移動式的排氣裝置;電子槍排氣,離子源排氣,熱處理;表面處理,表面改質;分析,試驗裝置 ;加速器,放射光設備,核聚變研究 ;研究開發(fā)用

                            TG70F控制器一體型復合分子泵

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*輔助泵的容量是25L/min情況下的容許流量
使用環(huán)境溫度:極限壓力的保證環(huán)境溫度是10-23度、容許環(huán)境溫度是8-38度
對應氣體種類:根據抽吸氣體種類,軸承潤滑脂或內部部件會受損。有關對應的氣體種類請咨詢
標準組合:泵+控制器用接口


特殊附屬品(另行購買):冷卻風扇,控制器+電機電纜(TG20F-20的情況),自動慢排閥,氣體吹掃接口,精密針型閥,配管部件。


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