盛密科技（上海）有限公司
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更新時間：2024-06-05 10:57:59瀏覽次數(shù)：93次
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4SM系列SO2-20傳感器產品描述本二氧化硫氣體傳感器可應用于半導體制程行業(yè)需要測量二氧化硫氣體濃度的場合
本二氧化硫氣體傳感器可應用于半導體制程行業(yè)需要測量二氧化硫氣體濃度的場合。
| 量程 | 0 ~ 20 ppm |
| 荷載 | 40 ppm |
| 靈敏度 (20℃) | 0.4 ± 0.1 μA/ppm |
| 響應時間 (T90) | ≤ 60 s |
| 基線 (20℃) | < ±0.2 μA |
| 基線漂移 (-40℃ ~ 50℃) | < 0.5 ppm |
| 分辨率 | 0.01 ppm |
| 線性度 | 線性 |
| 偏壓 | 0 mV |
| 溫度范圍 | 0℃ ~ 40℃ |
| 壓力范圍 | 1 ± 0.1 標準大氣壓 |
| 濕度范圍 | 15% ~ 90%RH (無冷凝) |
| 長期穩(wěn)定性 | < 2% 信號值/年 |
| 使用壽命 | > 2 年 (空氣中) |
| 儲存溫度 | 10°C ~ 30°C |
| 儲存時間 | 6個月（專用包裝盒中） |
| 質保期 | 24個月 |
| 殼體材料 | ABS |
| 重量 | 5 克 |
| 方向性 | 無 |
電極腳請正確連接，連接位置不對會影響傳感器的正常工作；傳感器應避免與有機溶劑、涂料、油類及高濃度氣體接觸；請勿直接在傳感器上或靠近傳感器的地方使用粘合劑，以防止塑料外殼的破裂；若在特殊環(huán)境下使用，請預先聯(lián)系我們。
以上所有性能參數(shù)都是在溫度20°C， 相對濕度50%RH和一個大氣壓(100kPa 或環(huán)境壓力)下測得。不同條件下的傳 感器性能會有所不同，更多詳細內容 請聯(lián)系我們。
| 氣體 | 濃度 (ppm) | 輸出信號 (相當于ppm氯氣) |
|---|---|---|
| 硫化氫 | 25 | 0.0 |
| 一氧化碳 | 100 | 0.0 |
| 一氧化氮 | 50 | -0.5 |
| 二氧化氮 | 10 | -5.2 |
| 氫氣 | 1000 | 0.0 |
| 氨氣 | 20 | 0.0 |
| 氯氣 | 20 | -7.5 |
| 乙炔 | 10 | 0.0 |
| 乙烯 | 50 | 0.0 |
| 乙醇 | 2000 | 0.0 |
注：上述交叉靈敏度包括但不限于上述氣體，該傳感器有可能對其他氣體有響應。交叉靈敏度的數(shù)值可能隨著傳感器的生產批次及測試環(huán)境的不同而變化。使用之前用目標氣體進行標定。如果用交叉敏感氣體進行標定，不保證其標定和測量的準確性。
該傳感器是為保障人身安全的特定儀器而設計的。為確保傳感器在儀器中按其規(guī)格運作，應仔細閱讀儀器使用手冊，并在每次使用前用符合認證的目標校準氣體進行標定，否則可能導致嚴重的意外傷害。請不要拆開殼體，防止電解液泄漏造成傷害。強烈建議客戶參考本文檔作為產品設計或應用來驗證傳感器性能。
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