FS1015CL系列氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類醫(yī)學(xué)用氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。產(chǎn)品采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計。測量范圍到150SLPM，ISO15mm連接方式適用于、等多種醫(yī)療設(shè)備。

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FS1015CL系列氣體質(zhì)量流量傳感器

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