光學(xué)3D表面輪廓儀，又稱白光干涉儀，它是以白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成的用于樣品表面微觀形貌檢測的儀器。光學(xué)3D表面輪廓儀是以非接觸的掃描方式，實(shí)現(xiàn)針對樣品表面的重復(fù)精度的3D測量，獲取表征樣品表面質(zhì)量的2D、3D數(shù)據(jù)。光學(xué)3D表面輪廓儀可對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于對器件表面質(zhì)量要求高的半導(dǎo)體、3C電子屏幕等器件、太陽能印刷薄膜、光學(xué)加工、納米材料等工業(yè)企業(yè)領(lǐng)域，以及高校、所、科研院所等計(jì)量、研究性質(zhì)單位

詳細(xì)介紹

技術(shù)規(guī)格 Technical specifications

型號		W1		W2
光源		白光LED		白光LED
標(biāo)配影像系統(tǒng)		1024×1024（2048×2048可選）		1024×1024（2048×2048可選）
標(biāo)配干涉物鏡		10×（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）		10×（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
標(biāo)配光學(xué)ZOOM		1×，（0.5×、0.75×可選）		1×，（0.5×、0.75×可選）
標(biāo)配視場		0.49*0.49mm		0.49*0.49mm
******視場		6*6mm		6*6mm
物鏡塔臺		3孔手動		3孔手動
XY位移平臺	尺寸	320×200mm		320×320mm
	移動范圍	140×110mm		200×200mm
	負(fù)載	10kg		10kg
	控制方式	電動		電動
水平調(diào)整		±4°手動		±電°手動
Z軸聚焦	行程	100mm		100mm
	控制方式	電動		電動
Z向掃描范圍		10 mm		10 mm
Z向分辨率		0.1nm		0.1nm
可測樣品反射率		0.5%~99%		0.5%~99%
粗糙度RMS重復(fù)性		0.005nm		0.005nm
臺階測量		準(zhǔn)確度	重復(fù)性	準(zhǔn)確度	重復(fù)性
		0.75% 1σ	0.1% 1σ	0.75% 1σ	0.1% 1σ

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