深圳市億萊斯儀器有限公司
深圳市億萊斯儀器有限公司
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地深圳市
百分零部件網(wǎng)采購部電話：0571-88918531
QQ:2568841715
聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
更新時間：2024-04-05 15:18:42瀏覽次數(shù)：150次
聯(lián)系我時，請告知來自 百分零部件網(wǎng)一、說明過濾網(wǎng)的泄漏測試應(yīng)當是無塵室測試中，最復(fù)雜、最耗時間的測量項目
一、說明
過濾網(wǎng)的泄漏測試應(yīng)當是無塵室測試中，最復(fù)雜、最耗時間的測量項目。泄漏測試的目的，是要確認： 1. 濾網(wǎng)的材料無破損， 2. 安裝恰當。濾網(wǎng)出廠前當然要經(jīng)過泄漏測試，但是在搬運與安裝過程難保無損，而且濾網(wǎng)的重要性又大于一切，因此安裝完畢都要做一次掃描，以確認濾材無任何泄漏。另外，若是安裝不恰當，微粒會從邊框漏進無塵室風口。就算是 FFU 系統(tǒng)，天花板上是負壓，若是邊框機有微粒日后仍舊會產(chǎn)生問題。因此，邊框掃描一樣重要。 濾網(wǎng)泄漏測試基本上是利用濾網(wǎng)上游的顆粒，然后在濾網(wǎng)下表面與邊框用微粒探測儀器搜尋有無泄漏。泄漏測試有幾種不同的方式，適用在不同的場合。測試方式有： 1. 氣膠光度計測試法， 2. 微粒計數(shù)器測試法， 3. 全效率測試法， 4. 外氣測試法。后兩種現(xiàn)在使用非常少。
二、方法
1. 氣溶膠光度計測試法
氣膠光度計測試法是期的測試方式，但是因為效果非常好，到今天仍舊沿用。氣膠光度計（ Aerosol Photometer ）是微粒計數(shù)器的一種，也是使用雷射科技，但是它在掃描空氣樣本的微粒之后，所給的是微粒的總體強度，不是微粒數(shù)目。 DOP 是一種油性化學(xué)物質(zhì)，現(xiàn)改用PAO,加壓或加熱霧化之后，可以產(chǎn)生次微米等級的微粒，可用來模擬無塵室的微粒，因此被當成驗證微粒。
2. 微粒計數(shù)器測試法
半導(dǎo)體業(yè)方面，早期也是使用 DOP/PAO 與氣膠光度計，但是隨著制造精密度增加，油性挑戰(zhàn)微粒逐漸不容許在無塵室使用，因此出現(xiàn)使用干式灰塵當成挑戰(zhàn)微粒，在上游施放，然后用微粒計數(shù)器在下游掃描，尋找泄漏，基本概念相同。經(jīng)過科學(xué)家一步步研究結(jié)果，發(fā)現(xiàn) PSL 因為微粒的粒徑與濃度可以控制，因此是目前為使用的標準微粒。使用時只要把 PSL 溶液霧化，導(dǎo)入濾網(wǎng)上游即可
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
百分零部件網(wǎng) 設(shè)計制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
