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深圳市軸心自控技術(shù)有限公司


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MYS 大氣式等離子表面處理系統(tǒng)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間：2024-03-05 13:37:21瀏覽次數(shù)：216次

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商鋪產(chǎn)品：1條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：深圳市龍華區(qū)觀瀾桂月路334號(hào)硅谷動(dòng)力汽車電子創(chuàng)業(yè)園A14棟

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

MYSmart MYS系列清潔設(shè)備通過消除傳統(tǒng)真空式等離子體處理的等待時(shí)間，帶來(lái)巨大產(chǎn)能和整體良率提升，同時(shí)能確保安全地處理所有敏感性電子元件。

詳細(xì)介紹

工藝特點(diǎn)

敏感元器件的表面處理也能輕松解決

- 可接觸式氬氣等離子體

- 不產(chǎn)生火花、電弧、粉塵，紫外線和高熱

- 對(duì)于敏感電子器件，不產(chǎn)生靜電危害(如晶圓，導(dǎo)線架，半導(dǎo)體封裝零件等)


MYS 等離子特性.jpg

規(guī)格參數(shù)

基本參數(shù)

MYS等離子表面處理系統(tǒng)平臺(tái)

用電需求

220?V, 2?kW, 10?A, 60?Hz

用氣需求

90 psi (6 bar)

外形尺寸 (W?x?D?x?H)

1,200?x?770?x?1,400?mm

重量

650?kg

認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)

CE

定位精度

XY: ±?30?m @ 3?σ?Z: ±?10?m @ 3?σ

X,Y,Z軸重復(fù)精度

XY: ±?15?m @ 3?σ?Z: ±?5?m @ 3?σ

速度

1,000?mm/s (X, Y)

加速度

1.0?g

相機(jī)解析度

640?x?480?px (30?W)

驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

AC servo

軌道形式

Belt

軌道承重

3?kg

適用最小產(chǎn)品寬度

50?mm

適用產(chǎn)品寬度

475?mm

適用最小產(chǎn)品長(zhǎng)度

50?mm

適用產(chǎn)品長(zhǎng)度

350?mm

軟件操作系統(tǒng)

Windows 7

產(chǎn)品厚度范圍

0.5–6?mm

通訊協(xié)議

SMEMA

等離子處理范圍 (D?xW)

475–350?mm



基本參數(shù)

等離子系統(tǒng)設(shè)備需求

RF功率

600W at 27.12 MHz

主要等離子氣體

Argon

制程氣體

O2, N2, or H2 (other upon testing)

氣源壓力范圍

30–100 psig (0.2–0.7 MPa)


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