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Bruker NPFLEX白光干涉儀

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產(chǎn)品簡介

Bruker NPFLEX白光干涉儀

詳細(xì)介紹

【產(chǎn)品簡介】
 
NPFlex 三維表面測量系統(tǒng)基于白光干涉原理，為精密機械加工領(lǐng)域大樣品表面表征測量提供了適合的解決方案，開放式的龍門設(shè)計提供了更大測量空間，克服了以往某些零件由于角度或取向造成的測量困難。NPFlex 為用戶提供比接觸式方法所能得到的更多數(shù)據(jù)量、更高分辨率和更好的重復(fù)性，使它成為精密機械加工領(lǐng)域優(yōu)異的測量方案可廣泛用于醫(yī)療植入，航空航天、汽車或精密加工上的大型、異型工件的測量。
 
【主要應(yīng)用】
 
1、 用于較大范圍的樣品表面形貌、粗糙度、三維輪廓等特性的快速測量；
2、 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料表面粗糙度、陶瓷基板的翹曲度、激光刻蝕痕跡、BUMP 三維結(jié)構(gòu)、MEMS 器件關(guān)鍵尺寸、TSV 孔尺寸和精密機械加工部件等領(lǐng)域的測量。
 
【主要參數(shù)】
 

RMS 重復(fù)性

0.004 nm

垂直分辨率

0.1nm

樣品尺寸

H: 249mm D: 304mm W: 304mm

樣品臺承載

50kg

橫向取樣間隔

0.1µm 至 13.2µm ( 由配備的 FOV 目鏡和干涉物鏡倍數(shù)決定 )

光學(xué)橫向分辨率

350nm

臺階測試精度

0.75%

臺階重復(fù)性

<0.1% 1σ

傾斜調(diào)整

手動 ± 45° / 自動調(diào)節(jié) ± 6°

垂直掃描速度

96um / 秒，用戶可自行設(shè)定

認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)

CE, NRTL, T-Mark, ROHS，ANSI B46.1

 

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