蘇州晶格電子有限公司
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更新時間：2024-01-04 11:45:48瀏覽次數(shù)：248次
聯(lián)系我時，請告知來自 百分零部件網(wǎng)一、可以測試的硅材料類型圖1-1硅晶棒晶錠圖1-2多晶硅片圖1-3單晶硅片圖1-4普通硅片圖1-4硅塊料二、儀器配件選配方案硅材料電阻率、方阻測試方案選配核心的原則，一是要選擇專門測試硅材料的鎢針探頭，耐磨性好，使用時間長，二是要知道硅材料的電阻率范圍，以便選配我公司合適的四探針測試儀
一、可以測試的硅材料類型
圖1-1 硅晶棒晶錠 圖1-2 多晶硅片 圖1-3 單晶硅片
圖1-4普通硅片 圖 1-4 硅塊料
二、儀器配件選配方案
硅材料電阻率、方阻測試方案選配核心的原則，一是要選擇專門測試硅材料的鎢針探頭，耐磨性好，使用時間長，二是要知道硅材料的電阻率范圍，以便選配我公司合適的四探針測試儀。
硅材料電阻率測試的方案選配分三個方面：探頭的選配、儀器的選配、測試臺的選配。任意三件套組成
可以構成不同特色的方案，或側(cè)重價格、或側(cè)重技術精度、或適用場合或綜合考慮。
2.1 探頭的選配：由于硅材料是硬度高，表面一般較粗糙，甚至有影響測試的氧化層等，所以硅材料測試探頭選配原則是耐磨耐用，要有一定穿透性，推薦使用ST2253-F01型碳化鎢針四探針探頭。
如圖2-1 
圖 2-1 ST2253-F01 碳化鎢針探頭
市場上也有鋼針的，但是耐用壽命不如碳化鎢針。我們蘇州晶格只有鎢針的。測試探頭有臺式的可以配合在任
意一款測試臺上。圖示為SZT-C型快速恒壓四探針測試臺，也有手持式的，適合手持式測試的。
圖2-2 SZT-C測試臺
2.2 四探針測試儀選配。
四探針測試儀選配的基本原則是材料電阻率或方阻的測試范圍、測試精度，一般測試范圍不算大的可
以選M-3手持式，如果范圍測試大一點的可以選擇臺式的ST2258C，帶PC軟件的可以選擇ST2253，如果想測
試精度更好，更準一點的可以選擇雙電測ST2263，這款也帶電腦PC軟件的。這三款可以自由選配，如下圖
所示
M-3手持式四探針測試
測試范圍、分辨率
電 阻： 0.010Ω ～ 50.00kΩ, 分辨率0.001Ω ～ 10 Ω
電 阻 率： 0.010Ω-cm ～ 20.00kΩ-cm， 分辨率0.001Ω ～ 10 Ω-cm
方塊電阻： 0.050Ω/□ ～ 100.00kΩ/□ 分辨率0.001Ω ～ 10 Ω/□量程劃分及誤差等級
M-3手持式四探針儀器 如下圖
M-3手持式是款充電式,里面是五個量程的，直接拿在手上就可以進行測試了，在車間
或出差方便攜帶。
臺式ST2258C四探針測試儀
測試范圍、分辨率
電 阻：10.0×10-6 ～ 200.0×10∧3Ω, 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×10∧3 Ω
（1.0×10-6 ～ 20.00×10∧3 Ω, 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×10∧3 Ω）
電 阻 率：10.0×10-6 ～ 200.0×10∧3 Ω-cm 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×10∧3 Ω-cm
（1.0×10-6 ～ 20.00×10∧3 Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×10∧3 Ω-cm）
方塊電阻：50.0×10-6 ～ 900.0×10∧3 Ω/□ 分辨率5.0×10-6 ～ 0.5×10∧3 Ω/□
（5.0×10-6 ～ 100.0×10∧3 Ω/□ 分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×10∧3 Ω/□）
量程劃分及誤差等級
臺式ST2258C是款測試范圍大一點，是八檔寬量程的，手動/自動量程，帶產(chǎn)品分類功能，比
M-3手持式多幾個量程。不帶電腦pc測試軟件的，手工記錄數(shù)據(jù)。
ST2258C
臺式ST2253四探針測試儀
測試范圍、分辨率
電 阻：1×10-4～2×10∧5 Ω ， 分辨率：1×10-5～1×10∧2 Ω
電阻率：1×10-4～2×10∧5 Ω-cm， 分辨率：1×10-5～1×10∧2 Ω-cm
方 阻：5×10-4～1×10∧6 Ω/□， 分辨率：5×10-5～1×10∧2 Ω/□
量程劃分及誤差
ST2253測試范圍和ST2258C是一樣的,也是八檔寬量程的。但ST2253是帶電腦PC軟件的，能夠
方便的記錄數(shù)據(jù)和儲存數(shù)據(jù)。
臺式ST2263四探針測試儀
測試范圍、分辨率
電阻率：1×10-4～2×10∧5 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×10∧2 Ω-cm
方 阻：5×10-4～1×10∧6 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×10∧2 Ω/□
電 阻：1×10-5～2×10∧5 Ω ，分辨率：1×10-6～1×10∧2 Ω
量程劃分及誤差等級
臺式ST2263如下圖 所示
臺式ST2263這款是雙電測的，誤差小，測試更精準，帶電腦PC軟件
2.3 硅材料測試四探針測試臺選配
一般測試臺可以選配我公司手動式的SZT-C，上下壓力可以手動調(diào)節(jié)，SZT-A或電動SZT-B型的都
可以選擇使用。
SZT-C SZT-A SZT-B
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