合肥科晶材料技術(shù)有限公司
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更新時(shí)間:2024-07-11 16:45:12瀏覽次數(shù):124次
聯(lián)系我時(shí),請告知來自 百分零部件網(wǎng)關(guān)鍵字: 管徑Φ25mm 型號: OTF-1200X-SFB 產(chǎn)品概述: OTF-1200X-S-FB是一款流化床立式爐,Φ25mm石英爐管(爐管中心區(qū)域直徑為Φ50mm),用于粉末CVD實(shí)驗(yàn)(FBCVD)。石英管中焊接一個(gè)微孔石英板,實(shí)驗(yàn)時(shí)樣品粉末放置于微孔石英板上。微孔石英板上的微孔尺寸15~40um,允許調(diào)節(jié)氣流通過微孔石英板,使粉末在爐體加熱區(qū)域懸浮起來,粉末和反應(yīng)氣體發(fā)生反應(yīng)或沉積。
流化床區(qū)域 | · 在爐管內(nèi)部的一個(gè)橫截面上能到達(dá)一個(gè)均勻的氣流分布 · 固體顆粒通過上升的氣體,穩(wěn)定地懸浮在一個(gè)區(qū)域 · 對于每一個(gè)樣品顆粒都能達(dá)到一個(gè)地?zé)峤粨Q和包覆效果 · 打開密封法蘭,處理好的材料可從爐管頂部倒出 注意:氣體以足夠高的流速上升穿過微孔石英板使粉末漂浮起來。然而如果氣體流速太高,粉末可能會飛出石英爐管。所以用戶需根據(jù)粉末的顆粒度,調(diào)節(jié)氣壓和流速,使粉末穩(wěn)定地漂浮在爐管中心。 |
微孔石英板 | · 石英管內(nèi)焊接有一個(gè)微孔石英管,爐管頂部和底部進(jìn)氣,強(qiáng)制氣體對流,使粉末樣品顆粒均勻漂浮在加熱區(qū)中心 微孔石英板:多孔: 15~40 um,尺寸:Φ 22mm x 4mm (厚)
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可選爐管 | 可選SS310不銹鋼罐,可高溫高壓使用 溫度:800℃ 氣壓10MPa(安裝有一個(gè)自動泄壓閥) 可增加ALD系統(tǒng),與設(shè)備配合,對粉體材料包覆 |
爐體結(jié)構(gòu) | 雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng) 爐體開啟式設(shè)計(jì),方便更換爐管 采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,提高加熱效率 |
功率 | 1200W |
電壓 | AC208~240V 單相 50/60Hz |
工作溫度 | 1200℃(<> |
連續(xù)工作溫度 | 1100℃ |
加熱速率 | 20℃/min |
爐管尺寸和材質(zhì) | 1根異形石英管,兩端細(xì),中間粗 兩端:外徑25mm×內(nèi)徑22mm, 中間:外徑50mm×內(nèi)徑44mm |
密封法蘭 | 底部法蘭:配有一套直徑為Φ25mm,安裝有機(jī)械壓力表,閥門和Φ6.35mm通氣接口 |
可選 | 可選購混氣系統(tǒng),用于CVD或ALD實(shí)驗(yàn) 可選購氧傳感器,來檢測爐管內(nèi)部的氧含量 可選購超聲噴霧系統(tǒng),可將液體前驅(qū)體霧化到爐管內(nèi)部 可選購自動粉料進(jìn)料機(jī)構(gòu)
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加熱區(qū) | 200mm |
恒溫區(qū) | 60mm |
加熱元件 | Fe-Cr-Al 合金摻 Mo |
溫控系統(tǒng) | · 可設(shè)置50段程序段:加熱速率,降溫速率和保溫時(shí)間 · PID方式調(diào)節(jié)溫度,溫度自整定功能,帶有超溫&斷熱電偶報(bào)警 · 超溫保護(hù)和報(bào)警,避免操作事故發(fā)生 · 控溫精度:±1℃ K型熱電偶 |
設(shè)備尺寸 | 340mm×300mm×1000mm ( W x L x H) |
凈重 | ~20Kg |
電腦&軟件(可選) | Labview溫度控制軟件系統(tǒng)(MTS01)可用于用電腦控制爐體:編輯溫度程序參數(shù)和導(dǎo)出實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)
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質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不含爐管,密封圈和加熱元件等耗材) |
質(zhì)量認(rèn)證 | CE |
警告 | 此管式爐爐管為石英管可在低壓或常壓環(huán)境下使用,爐管內(nèi)正壓需<> 注意:氣瓶上必須安裝雙級減壓閥,出口氣壓需減到0.02MPa 當(dāng)設(shè)備使用溫度≧1000℃時(shí),為防止?fàn)t管變形,爐管內(nèi)必須為常壓,不可為負(fù)壓 |
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