上海納騰儀器有限公司
會(huì)員1.png)
上海納騰儀器有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)Candela CS920
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地
百分零部件網(wǎng)采購(gòu)部電話：0571-88918531
QQ:2568841715
聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2024-01-23 14:02:27瀏覽次數(shù)：243次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 百分零部件網(wǎng)Candela CS920表面缺陷檢測(cè)儀
KLA Candela光學(xué)表面缺陷分析儀（OSA）可對(duì)半導(dǎo)體及光電子材料進(jìn)行的表面檢測(cè)。Candela系列既能夠檢測(cè)Si、砷化鎵、磷化銦等不透明基板，又能對(duì)SiC、GaN、藍(lán)寶石和玻璃等透明材料進(jìn)行檢測(cè)，成為其制程中品質(zhì)管理及良率改善的有力工具。
Candela系列采用光學(xué)表面分析（OSA）專用技術(shù)，可同時(shí)測(cè)量散射強(qiáng)度、形狀變化、表面反射率和相位轉(zhuǎn)移，為特征缺陷（DOI）進(jìn)行自動(dòng)偵測(cè)與分類。OSA檢測(cè)技術(shù)結(jié)合散射測(cè)量、橢圓偏光、反射測(cè)量與光學(xué)形狀分析等基本原理，以非破環(huán)性方式對(duì)Wafer表面的殘留異物，表面與表面下缺陷，形狀變化和薄膜厚度的均勻性進(jìn)行檢測(cè)。Candela系列擁有的靈敏度，使用于新產(chǎn)品開發(fā)和生產(chǎn)管控，是一套成本效益的解決方案。
二、 功能
主要功能
1.缺陷檢測(cè)與分類
2.缺陷分析
3.薄膜厚度測(cè)量
4.表面粗糙度測(cè)量
5.薄膜應(yīng)力檢測(cè)
技術(shù)特點(diǎn)
1.單次掃描中結(jié)合四種光學(xué)檢測(cè)方法的單機(jī)解決方案，可實(shí)現(xiàn)的自動(dòng)化缺陷檢測(cè)與分離；
2.對(duì)LED材料的缺陷進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè)，從而增強(qiáng)襯底的質(zhì)量管控，迅速確定造成缺陷的根本原因并改進(jìn)MOCVD品質(zhì)管控能力；
3.滿足多種工業(yè)要求，包括高亮度發(fā)光二極管（HBLED），高功率射頻電子器件，透明玻璃基板等技術(shù)；
4.在多個(gè)半導(dǎo)體材料系統(tǒng)中能更靈敏的檢測(cè)影響產(chǎn)品良率的缺陷。
5.自動(dòng)缺陷分類功能(Auto Defect Classification)
(Particle, Scratch, Pit, Bump, and Stain Detection)
6.自動(dòng)生成缺陷mapping。
技術(shù)能力
1.檢測(cè)缺陷尺寸>0.3μm；
2.樣品尺寸：8 inch Wafer；
3.超過(guò)30種DOI的缺陷分類。
三、應(yīng)用案例
1.透明/非透明材質(zhì)表面缺陷檢測(cè)
2.MOCVD外延生長(zhǎng)成膜缺陷管控
3.PR膜厚均一性評(píng)價(jià)
4.Clean制程清洗效果評(píng)價(jià)
5.Wafer在CMP后表面缺陷分析
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
供應(yīng)空氣質(zhì)量檢測(cè)儀報(bào)價(jià)
CRK-802 面議
百分零部件網(wǎng) 設(shè)計(jì)制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請(qǐng)輸入賬號(hào)
請(qǐng)輸入密碼
請(qǐng)輸驗(yàn)證碼
