13.56MHz低溫等離子表面處理清洗機

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更新時間：2024-04-06 15:45:31瀏覽次數：186次

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產品簡介

簡要描述：13.56MHz低溫等離子表面處理清洗機內置不高純石英倉體，容積為2升，結構為上的通用結構。

詳細介紹

KT-S2DQX型13.56MHz低溫等離子表面處理清洗機屬于13.56MHz的射頻電源。作為一種精密干法清洗設備，主要應用于半導體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗，塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。

該13.56MHz低溫等離子表面處理清洗機內置不高純石英倉體，容積為2升，結構為上的通用結構。采用了新型的外觀結構設計和固態(tài)電源技術，使其有效容積增大，不同真空氣體環(huán)境下容易匹配，且控制頻率穩(wěn)定。真空倉門有觀察窗，可直觀物體的處理過程，其射頻電源與控制都組裝在一個機箱內，即減少了空間的占用，更便于操作和放置，同時與大型清洗機相比較，從檢測功能與控制功能的設置上均可一個面板上操作，特別適用科學實驗樣品清洗和教學

供電電源	AC220V（AC110V可選)
工作電流	整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵)
射頻電源功率	150W
射頻頻率	13.56MHz
頻率偏移量	＜0.2MHz
特性阻抗	50歐姆，手動匹配
耦合方式	感應耦合式（線圈耦合）
真空度	≤100Pa
腔體材質	高純石英
腔體容積	2L(內徑110MMX深度220MM)
觀察窗內徑	Φ70
氣體流量	10—600ml/min（其他量程可選）
過程控制	過程手動控制
清洗時間	手動開關
開蓋方式	鉸鏈側開式法蘭
外形尺寸	400x380x360mm
重量	23Kg
真空室溫度	小于65°C
冷卻方式	強制風冷
標配	KF16波紋管1米，kf16卡箍2個，電源線一根，說明書一本。