自動增壓器UR-7300 系列

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更新時間：2023-11-08 14:04:46瀏覽次數(shù)：290次

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堀場儀器（上海）有限公司

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產(chǎn)品簡介

自動增壓器UR-7300 系列

詳細(xì)介紹

概要
規(guī)格

概要

UR系列自動壓力調(diào)節(jié)器是具有高精度壓力傳感器、高分辨度和快速反應(yīng)壓電陶瓷做動閥門的電子調(diào)節(jié)器。它通過接收到的外部控制信號對壓力進行控制。氣體接觸區(qū)域的全金屬結(jié)構(gòu)設(shè)計（金屬型號）使這些部件非常適合于那些超純氣供應(yīng)系統(tǒng)的超潔凈環(huán)境壓力控制。

HORIBA STEC公司的質(zhì)量流量控制器在流體流速的精確控制方面是非常有名的，并且它在市場的也獲得了非常大的。HORIBA STEC公司將自己的質(zhì)量流量控制技術(shù)運用到了新的領(lǐng)域---壓力控制。HORIBA STEC公司的這套壓力控制系統(tǒng)包含了UR系列超潔凈自動壓力調(diào)節(jié)器；對于GR-300系列產(chǎn)品而言，它是通過與質(zhì)量流量控制器工程師們一起合作而開發(fā)的小尺寸的芯片背面冷卻系統(tǒng)；EC系列產(chǎn)品是為反應(yīng)室內(nèi)部控壓而設(shè)計的排氣壓力控制器；而PV系列快速反應(yīng)系統(tǒng)是以金屬密封圈封裝的壓電陶瓷閥門為特色的。HORIBA STEC公司也可以提供那些通過多維空間技術(shù)設(shè)計的流量和壓力控制系統(tǒng)。

特征

超潔凈處理：所有的金屬部件（金屬型號）
快速反應(yīng)：反應(yīng)速度小于0.5秒
這些調(diào)節(jié)器可以以任何姿態(tài)安裝在任何位置，使用電子信號進行控制的它們，可以廣泛的適用于各種氣體供應(yīng)系統(tǒng)。
本系列產(chǎn)品既有進氣端控制型號(-B type)，也有出氣端控制型號。
可選擇相對壓強型，或者壓強型
當(dāng)壓力源發(fā)生改變的時候，可以實現(xiàn)快速、準(zhǔn)確的壓力調(diào)整。特別是壓力源突然變化的時候，這種快速準(zhǔn)確的反應(yīng)尤為重要。帶有壓力調(diào)整設(shè)備的話，由于提供了反應(yīng)靈敏和壓力可調(diào)整地特性，可以有效的控制質(zhì)量流量控制器內(nèi)的次級壓力。此外，在一些非常小的流量范圍，如果壓力調(diào)整分辨率不夠高，也容易產(chǎn)生振蕩現(xiàn)象。高精度、高反應(yīng)速度的UR系列產(chǎn)品為大家解決了這個問題，提供了準(zhǔn)確和穩(wěn)定的壓力控制。
多路供氣時的阻壓干擾。當(dāng)氣體被諸如MOCVD或者LCD Spatter CVD等大型裝置分開送氣時，即使通過質(zhì)量流量計的控制，突然的流量改變會對其他氣路產(chǎn)生影響。UR系列產(chǎn)品，可以進行快速和準(zhǔn)確的壓力調(diào)整，甚至在這些不佳的環(huán)境下，仍然可以保證穩(wěn)定的控制和確保各個質(zhì)量流量計不受其他氣路的相互影響。
遠(yuǎn)程壓力設(shè)定（引人注目地減少了空隙體積）
自從壓力通過電子信號進行控制后，UR-7300/Z704系列產(chǎn)品作為一種氣體管路的設(shè)計將很難在傳統(tǒng)的壓力調(diào)整設(shè)備中使用。簡單的氣路設(shè)計減少了空隙體積的產(chǎn)生（幾乎為零），阻止了氣體的堆積并且使它更容易進行氣體替換。因此，在氣柜中配備壓力計或者手動壓力調(diào)節(jié)器將不再是必須的了。

規(guī)格

UR-7340

氣體接觸部材質(zhì)	M類型：SUS-316L R類型：SUS-316L，氟化橡膠
壓力控制量程	20-950kPa(G) 10-500kPa(G) 10-300kPa(A)
調(diào)壓流量	1L/min(CV値;0.0032) 5L/min(CV値;0.016)
調(diào)壓精度	±1% F.S.(滿量程)
其他	也可以制作一次壓力調(diào)壓類型。閥門工作：非通電時，可以選擇開/關(guān)閉

UR-7350

氣體接觸部材質(zhì)	M類型：SUS-316L R類型：SUS-316L，氟化橡膠
壓力控制量程	20-950kPa(G) 10-500kPa(G) 10-300kPa(A)
調(diào)壓流量	10L/min(CV値;0.032)
調(diào)壓精度	±1% F.S.(滿量程)
其他	也可以制作一次壓力調(diào)壓類型。閥門工作：非通電時，可以選擇開/關(guān)閉

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