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ARIS Integra Pro主動(dòng)隔振系統(tǒng)/主動(dòng)減震系統(tǒng)/主動(dòng)防震系統(tǒng)

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  減震系統(tǒng)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

ARIS Integra Pro主動(dòng)隔振系統(tǒng)/主動(dòng)減震系統(tǒng)/主動(dòng)防震系統(tǒng)緊湊型模塊化主動(dòng)隔振系統(tǒng)，能夠抵消影響超高精密設(shè)備或工具的振動(dòng)，多個(gè)獨(dú)立的隔振器可承受高達(dá)4000Kg的大型設(shè)備負(fù)載，安裝簡(jiǎn)易，無需抬高及重新校準(zhǔn)。

詳細(xì)介紹

ARIS Integra Pro主動(dòng)隔振系統(tǒng)/主動(dòng)減震系統(tǒng)/主動(dòng)防震系統(tǒng)

緊湊型模塊化主動(dòng)隔振系統(tǒng)，能夠抵消影響超高精密設(shè)備或工具的振動(dòng)，多個(gè)獨(dú)立的隔振器可承受高達(dá)4000Kg的大型設(shè)備負(fù)載，安裝簡(jiǎn)易靈活，無需抬高及重新校準(zhǔn)。

主要優(yōu)勢(shì)：

1. 6自由度隔振

2. 0.5Hz開始隔振有效增益

3. 可變阻尼

4. 內(nèi)置人工智能功能

5. 主動(dòng)隔振頻率范圍可調(diào)整

6. 遠(yuǎn)程控制

7. 內(nèi)置實(shí)時(shí)診斷工具（頻譜分析儀、示波器）

8. 震動(dòng)模式（可選）

應(yīng)用領(lǐng)域：

1. 電子顯微鏡（SEM、TEM、FIB、EBL、DualBeam）

2. 半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備（光刻機(jī)、晶圓測(cè)試儀、電子束曝光機(jī)、CD_SEM）

3. 掃描隧道顯微鏡/STM、掃描探針顯微鏡SPM、大型原子力顯微鏡/AFM

4. X-Ray、CT、MPI

......

規(guī)格參數(shù)：

Model/型號(hào)	ARIS Integra Pro500 Pro	ARIS Integra Pro1000 Pro
Dimensions/規(guī)格（mm）	800mm (Flexible Length) x230x75mm	800mm (Flexible Length) x230x75mm
Load Capacity（Kg）	200-500 per Isolator (Module) Number of Modules unlimited	500-1000 per Isolator (Module) Number of Modules unlimited
Actuaotor Force/制動(dòng)器力	Vertical = 150N ; Horizontal = 75N
Active Isolation Range/主動(dòng)隔振頻率	0.5-100Hz
Architecture/結(jié)構(gòu)	MVIS - Multi-layer Vibration Isolation Structure/MVIS-多層隔振結(jié)構(gòu)
Degrees of Freedom/自由度	6 degrees
Vibration Isolation Performance/性能	~8db gain on 1Hz ~20db gain on 2Hz
Setting Time/響應(yīng)時(shí)間	≤0.1 sec
Real-Time Diagnostic Tools 實(shí)時(shí)診斷工具	Built-in Real-Time 2 channels Oscilloscope, Real Time 2 channel Spectrum Analyzer
Real-Time performance adjustment 實(shí)時(shí)性能調(diào)整工具	Adaptive Control in ALL 6 degrees of freedom in real-time. Remote Access
Input Voltage/電壓	AC 80-260V/50-60Hz