上海沃盾精密設(shè)備科技有限公司
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更新時間：2023-11-04 08:03:21瀏覽次數(shù)：276次
聯(lián)系我時，請告知來自 百分零部件網(wǎng)白光干涉儀8300
美國ZYGO白光干涉儀8300
NewView 8300系列的3D光學(xué)表面輪廓儀可以提供強壯的多功能的非觸摸式光學(xué)表面描摹丈量剖析。一切的丈量都無損、快速，并且不需要樣品制備。強壯的剖析軟件可以準確的描繪和定量剖析表面粗糙度、臺階高度、要害標(biāo)準和其它描摹特征。使用zygo的相干掃描干與技能，NewView 8300系列輪廓儀可以很簡單的丈量各種材質(zhì)表面，包含光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和臺階面等。
系統(tǒng)參數(shù)：
◆原理:非觸摸、三維白光掃描干與儀
◆掃描設(shè)備:閉環(huán)反應(yīng)壓電陶瓷，高線性電容傳感器
◆視場:規(guī)范配置：0.04-16mm，跟物鏡和擴大倍率有關(guān),運用圖像拼接技能可以得到更大規(guī)劃
◆視場擴大倍率：高質(zhì)量分立擴大倍率鏡頭：0.5X,0.75X,1X（標(biāo)配），1.5X,2.0X
◆光源:均勻成像，高效率，特別規(guī)劃長壽命白光LED
◆物鏡座標(biāo)配:可快速裝卸單物鏡夾具
◆控制:濾光板托架，視場光闌（輔助集合）
◆丈量陣列:標(biāo)配1024×1024像素；可選分辨率：512×512，1024X160像素
◆樣件查詢:專用液晶顯示屏實時查詢
◆精細集合:電控手動和主動集合
◆Z軸驅(qū)動:直流無刷微步進電機驅(qū)動，100mm行程,0.1μm精度
◆標(biāo)準:系統(tǒng)標(biāo)準：151×73×61cm，NewView：75×64×56cm，隔振途徑：76X61X61mm
◆分量:系統(tǒng)分量：約229Kg
◆輸入電壓:100-240VAC,50/60 Hz
◆計算機:帶液晶顯示器的高性能DELL計算機
◆軟件:ZYGO MX軟件
◆物鏡座:標(biāo)配：可快速裝卸單物鏡夾具,選配：手動4位塔臺和電動4位塔臺
◆物鏡：1X，2X，2.75X，5.5X，10X，20X，50X，100X。
◆塔臺:手動6位塔臺；電控64位塔臺；
◆樣品臺:俯仰(±4°)和XY平移(100mm)和電動/俯仰(±4°)和XY平移(150mm)電動可選
◆縱向掃描規(guī)劃:150μm，拓寬掃描方式可到20mm,
◆縱向分辨率＜0.1nm,橫向分辨率0.34μm（100X物鏡下）
◆掃描速度≤96μm/sec,與所選的CCD和掃描方式有關(guān)
◆zui大數(shù)據(jù)點:規(guī)范307200；可選984064；
◆RMS重復(fù)性＜0.01 nm，RMSσ
◆臺階丈量：準確度≤0.75%;重復(fù)性≤0.1% 1σ
◆傾斜表面丈量：光滑表面55度，散射表面86度。
◆測樣品特性:各種資料的表面：透明，不透明，鍍膜,非鍍膜，反射，弱反射
◆反射率:0.5-
◆zui大標(biāo)準:89×203×203mm(高×寬×長);
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