福州法拉第機(jī)電設(shè)備有限公司
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更新時(shí)間：2023-11-03 13:18:16瀏覽次數(shù)：278次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 百分零部件網(wǎng)主動式氣動懸掛系統(tǒng)MAPS系列MAPS可以消除無源系統(tǒng)無法消除的頻帶寬度的振動。單元式主動隔振器業(yè)務(wù)領(lǐng)域?qū)τ诎雽?dǎo)體品牌：MEIRITZ明立產(chǎn)地：日本品名：主動隔振
主動式氣動懸掛系統(tǒng)MAPS系列
MAPS可以消除無源系統(tǒng)無法消除的頻帶寬度的振動。
單元式主動隔振器
業(yè)務(wù)領(lǐng)域
對于半導(dǎo)體
特征：
盡管MAPS具有緊湊的尺寸，但它可以隔離六個(gè)自由度的振動
Meiritz提供的MAPS系列的每個(gè)單元都有兩個(gè)氣壓執(zhí)行器：一個(gè)用于垂直，另一個(gè)用于水平。
使用MAPS，您可以體驗(yàn)出色的隔振，抑制振動和精確定位的性能。
MAPS可以消除無源系統(tǒng)無法消除的頻帶寬度的振動。
由于固有頻率引起的諧振經(jīng)常會在無源隔離系統(tǒng)中引起麻煩。共振使振動的幅度增加三倍或更多。但是可以通過使用MAPS消除共振。在此頻率范圍內(nèi)可以獲得出色的隔離性能。例如，與大多數(shù)無源隔離系統(tǒng)相比，可以將典型無源隔離系統(tǒng)諧振附近的2Hz振動消除到小于1 / 30-1 / 100。
可以通過標(biāo)準(zhǔn)類型的MAPS將10噸或以上的設(shè)備與振動隔離開
最近的精密機(jī)器顯示出由于功能實(shí)現(xiàn)而變得更大的趨勢。有些設(shè)備的總重量已經(jīng)超過10噸。由于裝置的擴(kuò)大，難以保持裝置的結(jié)構(gòu)固有頻率高。這是為什么需要在低頻下具有優(yōu)異性能的主動隔振系統(tǒng)的原因之一。
即使攜帶可以在舞臺上工作的設(shè)備，也可以保持穩(wěn)定。
例如，如果某個(gè)設(shè)備具有通過XY位移臺進(jìn)行的某些移動，則該設(shè)備會以較大的幅度擺動，并且
在無源隔離系統(tǒng)（如空氣固定架或橡膠固定架）上的振動會增大?？梢栽谥鲃痈粽?/p>
器上減小擺幅，因?yàn)樗艿椒答伩刂?，以保持位置穩(wěn)定。并且，如果可以將臺架的運(yùn)動預(yù)先輸出為電信號，則可以得到幾乎不擺動的環(huán)境，因?yàn)榭梢詫APS進(jìn)行前饋控制，使得擺動可以變得最小。
MAPS在精確定位和精確水平方面非常出色。
當(dāng)設(shè)備的尺寸變大時(shí)，傾斜也會引起麻煩。由于其笨重，它在傾斜時(shí)會傾斜和下垂，并且精度會受到顯著影響。MAPS使傾角變小，并且可以保持精度處于良好狀態(tài)。例如，MAPS使晶圓或LCD面板的順利交付成為可能。
所有類型的MAPS都易于安裝。
我們聽取客戶的要求，并把所有必要的功能擠在MAPS系列中。安裝MAPS只需很小的空間，并且您可以得到不受振動影響的環(huán)境。由于MAPS系列的控制系統(tǒng)非常穩(wěn)定，因此我們不僅可以作為工廠的設(shè)備，而且可以作為待售產(chǎn)品的附件來自信地處理MAPS系列。
MAPS是組成精密設(shè)備的重要部分之一。
似乎有很多客戶僅從焦慮到振動都使用隔振裝置。當(dāng)當(dāng)今進(jìn)行高精度，高性能和大型化時(shí)，必須具有不受振動影響的環(huán)境，才能顯示出規(guī)格表中所述器件的全部性能。隔振裝置是構(gòu)成精密機(jī)械系統(tǒng)而不是輔助裝置的部件之一。
開始開發(fā)時(shí)與我們聯(lián)系。
MAPS系列具有隔振，定位和校平所需的所有功能。而且不需要很大的安裝空間。即使在完成設(shè)備開發(fā)之后，
MAPS仍可以組裝到設(shè)備中。但是，在這種情況下，經(jīng)常會出現(xiàn)各種限制。從隔振性能和成本角度來看，這都不是一個(gè)好方法。當(dāng)開始開發(fā)新設(shè)備時(shí)，我們想聽聽您對設(shè)備的想法，并希望就MAPS的安裝空間，隔振性能和定位精度進(jìn)行必要的安排。通過采用我們建議的這種方式，可以將您的振動環(huán)境吸引到理想狀態(tài)。
| 項(xiàng)目／形式 | MAPS-008 | MAPS-016 | MAPS-033 | MAPS-065 | MAPS-130 | MAPS-240 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 搭載可能質(zhì)量[kgf] (4ユニット使用時(shí)) | 400～800 | 800～1600 | 1600 ～3300 | 3300 ～6500 | 6500 ～13000 | 13000 ～24000 | |
| 機(jī)體寸法 W×D×H[mm] | 235×235×130 | 296×296×140 | 350×350×150 | 450×450×190 | 600×480×190 | 710×600×190 | |
| トッププレート／ベースプレート 取付穴數(shù)量 － 穴徑C[mm] | 4－Φ10 | 4－Φ10 | 4－Φ14 | 4－Φ16 | 6－Φ16 | 6－Φ16 | |
| トッププレート／ ベースプレート 取付穴ピッチ | A1[mm] | 218 | 276 | 320 | 420 | - | - |
| A2[mm] | - | - | - | - | 100 | 250 | |
| A3[mm] | - | - | - | - | 460 | 420 | |
| A4[mm] | - | - | - | - | 25 | 20 | |
| B[mm] | 218 | 276 | 320 | 420 | 430 | 230 | |
| １ユニットあたりの 機(jī)體質(zhì)量 [kg] | 13 | 42 | 63 | 110 | 180 | 230 | |
| 供給空気圧 [MPa] | 0.6～0.8(クリーンエアー) | ||||||
| 定?？諝菹M(fèi)量 [|/min] | 45～65 | 120～170 | |||||
| 空気消費(fèi)量 [|/min] | 120 | 300 | |||||
| 電源電圧［V] | 100～240 (AC単相,50/60 Hz) | ||||||
| 消費(fèi)電力 [VA] | 180 | ||||||
| 周囲溫度 [゜c] | 0～40 | ||||||
| 周囲濕度 [%RH] | 35～85 (結(jié)露しないこと） | ||||||
| ばね上構(gòu)造體固有振動數(shù) [Hz] | 200以上(推奨値) | ||||||
| 除振?制振方式 | 空気圧制御による振動制御 | ||||||
| レベル維持方式 | 空気圧制御による位置制御 | ||||||
| 除振性能 | 振動伝達(dá)率參照 | ||||||
| 制御軸數(shù) | ≦6 | ||||||
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