半導(dǎo)體烤箱產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、 高容量水平空氣再循環(huán)熱風(fēng)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)高性能溫度均勻性;

2、 內(nèi)材質(zhì)采用不銹鋼板,整個內(nèi)腔全密封設(shè)計,防止空氣進(jìn)入箱體內(nèi),同時節(jié)省氮?dú)馐褂?

3、 采用大功率耐高溫長軸馬達(dá),大尺寸渦輪扇葉,可以高溫環(huán)境下長期穩(wěn)定工作;

4、 升溫速率可控,設(shè)定工藝曲線,一鍵運(yùn)行,冷卻系統(tǒng)輔助降溫,可有效提高生產(chǎn)效率;

5、 高精度溫度控制器,PID調(diào)節(jié),控制精度可達(dá)到0.5℃,控制可靠,使用安全;

6、 高效潔凈處理,千級潔凈室老化測試,滿足半導(dǎo)體無塵車間及產(chǎn)品要求;

7、 箱體內(nèi)低氧含量控制,實(shí)時顯示,雙通道分析系統(tǒng),氧含量可控制在100PPM以內(nèi).