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日本三豐激光全息測(cè)微計(jì)542-928
542 系列 — 超高精度光柵式測(cè)微儀(激光全息)
LGH ( 0.01μm 分辨力 )
特點(diǎn):
1.三豐公司的激光全息測(cè)微儀是一種數(shù)顯測(cè)量系統(tǒng)，采用激光衍射測(cè)長(zhǎng)原理，進(jìn)行高精度和高重復(fù)精度測(cè)量。
2.緊湊型測(cè)頭降低了每個(gè)裝置組裝激光光柵尺所需的成本。測(cè)頭也有助于縮小整個(gè)系統(tǒng)的尺寸。本測(cè)微儀是測(cè)量?jī)x器或控制裝置長(zhǎng)度測(cè)量傳感器，也是高精密部件測(cè)量的選擇。
3.由于具有 0.00001mm ( 0.01μm ) 的*分辨力適于進(jìn)行高精度測(cè)量，其性能接近激光干涉儀。
4.具有*的測(cè)量穩(wěn)定性——高防護(hù)性設(shè)計(jì)，適于在惡劣的環(huán)境下工作，如溫度和氣壓變化的環(huán)境。
5.低測(cè)力型也可用。低測(cè)力型可用于易變形的精密工件。
6.高可靠性和優(yōu)良耐用性測(cè)桿導(dǎo)軌使用高精度線性滾珠軸承以獲得非常平滑的運(yùn)動(dòng)效果和超長(zhǎng)耐用性。
7.分辨力為 0.01μm 的 LGH 與 EH-102S 計(jì)數(shù)器一起使用。

日本三豐激光全息測(cè)微計(jì)542-928

技術(shù)參數(shù)
精度: 參見(jiàn)性能參數(shù) ( 不包括量化偏差 )
分辨率: 0.01μm
長(zhǎng)度基準(zhǔn): 激光全息測(cè)量傳感器
zui大反應(yīng)速度: 250mm/s
測(cè)針: R5mm 硬質(zhì)合金
軸套: ø15mm
軸承類型: 高精度線性滾珠軸承
測(cè)力: 參見(jiàn)性能參數(shù)
輸出信號(hào):90度相位差,差動(dòng)方形波
信號(hào)間距:0.25μm

標(biāo)準(zhǔn)附件
538610:帶扳手的測(cè)頭

選件
•激光全息測(cè)微儀臺(tái)架: No.971750
•用于上表面固定的裝夾套筒固定裝置: No.971751
•用于下表面固定的裝夾套筒固定裝置: No.971752
•測(cè)桿提升線纜: No.971753
•塑料橡膠套管: No.238772 (備用)

性能參數(shù):

貨號(hào)		542-925*	542-927*	542-926*	542-928*
配置		單軸測(cè)微儀和顯示裝置套裝	雙軸測(cè)微儀和顯示裝置套裝	單軸測(cè)微儀和顯示裝置套裝	雙軸測(cè)微儀和顯示裝置套裝
測(cè)量范圍		10mm
測(cè)量精度 ( 20ºC )		0.1µm*1
重復(fù)性		0.02µm
回程誤差		0.05µm
測(cè)力	測(cè)桿朝上	約 0.35N 以下		約 0.1N
	測(cè)桿水平	約 0.45N 以下		—
	測(cè)桿朝下	約 0.55N 以下		—
測(cè)頭		ø3mm 硬質(zhì)合金 ( 固定螺絲 : M2.5 ( P=0.45 ) × 5 ) , 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)頭 20058
輸出電纜長(zhǎng)度		2m
顯示范圍		±999.99999mm
zui小讀數(shù)		0.01µm
運(yùn)行溫度 ( 濕度 ) 范圍		10 - 30ºC ( RH 30 - 70%, 無(wú)冷凝)
存儲(chǔ)溫度 ( 濕度 ) 范圍		–10 - 50ºC ( RH 30 - 70%, 無(wú)冷凝 ) 拆開(kāi)包裝后存放的溫度和濕度條件和操作時(shí)的條件相同
標(biāo)準(zhǔn)附件		測(cè)頭扳手 : No.538610 AC 適配器 : No.02ADN460 AC 電纜 ( 日本 ) : No.02ZAA000* AC 電纜 ( 美國(guó) ) : No.02ZAA010* AC 電纜 ( 歐盟 ) : No.02ZAA020* AC 電纜 ( 英國(guó) ) : No.02ZAA030* AC 電纜 ( 中國(guó) )) : No.02ZAA040* AC 電纜 ( 韓國(guó) ) : No.02ZAA050*
重量 ( 測(cè)微儀 + 顯示裝置)		1400g