產(chǎn)品展示
XCTG-5+1、XCTG-6~9+2
【簡單介紹】
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注:價(jià)格面議
【詳細(xì)說明】
| XCTG-5+1 | XCTG-6~9+2 |
鍍膜室規(guī)格 | ∮700~800mm×800~880mm | ∮900~1000mm×1000~1200mm |
極限真空度 | ≤7.6×10-4Pa | |
冷態(tài)抽真空時(shí)間 | 從1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分鐘 | |
機(jī)組配置 | KT-400擴(kuò)散泵機(jī)組 | KT-400/ KT-500擴(kuò)散泵機(jī)組 |
靶配置 | 5個(gè)電弧靶1個(gè)磁控靶 | 6-9個(gè)電弧靶2個(gè)磁控靶 |
配電要求 | KW | KW |
設(shè)備用途 | 適用于各類工具鍍鍍膜要求,可鍍制DLC、TiN、TiCn、CrN、AlTiN、CrAlTiN等功能膜層 | |
備注 | 可根據(jù)用戶產(chǎn)品、產(chǎn)量、膜層特殊要求設(shè)計(jì)制造非標(biāo)設(shè)備??杉友b磁控靶、中頻孿生對靶等。 |
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