Edwards的高性能STPH451C渦輪分子泵是為嚴苛的半導體應用而設計的。這種泵經(jīng)過實踐檢驗的性和的性能可以實現(xiàn)大的制程靈活性。STPH451C已經(jīng)由半導體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設備制造商投入使用，并得到了。