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1

整機(jī)規(guī)格

L1300mm*W1300mm*H2200﹢50/﹣30mm（包含FFU及報警指示燈等）

2

進(jìn)出料方式

流水線全自動進(jìn)出料

3

放電結(jié)構(gòu)

真空容式輝光放電

4

處理溫度

≤50℃

5

單次處理載板數(shù)

2片

6

載板尺寸

（170-270）*（65-85）*（1-5）mm

7

設(shè)備產(chǎn)能

理論值≥90載板/小時（依據(jù)plasma處理時間15秒計算）

8

凈化防護(hù)

百級FFU凈化過濾系統(tǒng)

特點(diǎn)：1、進(jìn)料流水線運(yùn)動模組采用伺服電機(jī)+滾珠絲桿模組運(yùn)動，有效保證精度，降低塵污；2、真空腔內(nèi)置2條軌道，可一次處理2片物料， UPH可達(dá)90拼板/小時；3、所有運(yùn)動機(jī)構(gòu)均采用成熟運(yùn)動方案，設(shè)備穩(wěn)定性及故障率得以有效控制。

用 途：IC封裝中引線框架上點(diǎn)膠裝片、芯片鍵合及塑封等工藝前清洗

在線式真空等離子清洗機(jī)自動搬運(yùn)物料的設(shè)計要求,與常規(guī)等離子清洗系統(tǒng)相比,降低了人工搬運(yùn)過成,提高了設(shè)備自動化水平。