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VAP系列 晶圓級(jí)等離子活化系統(tǒng)

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品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間：2023-08-05 09:08:31瀏覽次數(shù)：110次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

整機(jī)結(jié)構(gòu)帶loadport系統(tǒng)分為前端設(shè)備操作單元、前端EFEM單元及等離子處理單元

詳細(xì)介紹

整機(jī)結(jié)構(gòu)

帶load port系統(tǒng)分為前端設(shè)備操作單元、前端EFEM單元及等離子處理單元，前端EFEM系統(tǒng)與等離子體處理單元分體式設(shè)計(jì)

等離子體源

射頻等離子體源或雙頻等離子體源

反應(yīng)腔室

標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)為雙反應(yīng)腔室，可根據(jù)需求定制單反應(yīng)腔室和多反應(yīng)腔室結(jié)構(gòu)

機(jī)械傳片

單臂或雙臂高精度機(jī)械手

Wafer升降

機(jī)械式Wafer pin升降結(jié)構(gòu)，Wafer pin采用特定工藝處理

前真空泵

干式真空泵，根據(jù)安裝位置及工藝不同，選擇100-300m3/h規(guī)格

高真空真空泵

分子泵（水冷或CDA冷卻）

工藝壓力控制

自動(dòng)調(diào)壓蝶閥

真空檢測(cè)

管道真空計(jì)、反應(yīng)腔室全量程真空計(jì)、工藝真空計(jì)、壓差開(kāi)關(guān)

工藝氣體種類(lèi)

標(biāo)準(zhǔn)配置高純Ar、N2、O2，可增加其他高純工藝氣體

氣體流量控制

質(zhì)量流量控制器（MFC）

控制系統(tǒng)

基于工業(yè)電腦設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)的人機(jī)交互系統(tǒng)，系統(tǒng)設(shè)計(jì)人性化、操作簡(jiǎn)單



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