螺桿真空泵是一種抽氣裝置，利用一對(duì)螺桿在泵殼內(nèi)同步高速反方向旋轉(zhuǎn)，造成抽吸和排氣管實(shí)際效果。這是油封機(jī)械泵的更新產(chǎn)品，能夠提取含有較多的水蒸氣和少量灰塵的氣體。被廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)制藥業(yè)、化工廠、半導(dǎo)體材料等對(duì)潔凈度和真空度要求高的企業(yè)領(lǐng)域。兩個(gè)螺絲經(jīng)過(guò)仔細(xì)的穩(wěn)定平衡，由滾動(dòng)軸承支撐，并安裝在泵殼中。螺絲中間具有一定的間隙。因而，當(dāng)泵運(yùn)行中，螺桿本身沒(méi)有摩擦，運(yùn)行穩(wěn)定，噪音低，工作室不用潤(rùn)滑油。因而，干式螺桿泵能夠提取含有較多的水蒸氣和少量灰塵的氣體，具有極限真空度高、功耗低、環(huán)保節(jié)能、經(jīng)久耐用等優(yōu)點(diǎn)。這是油封機(jī)械泵的更新產(chǎn)品。各種機(jī)械泵的發(fā)展越來(lái)越受到真空應(yīng)用的影響。一般真空系統(tǒng)無(wú)法滿(mǎn)足清潔、全無(wú)油和抗腐蝕的要求。因而，近些年，螺桿真空泵的市場(chǎng)需求很大，真空產(chǎn)品也有升級(jí)換代的趨勢(shì)。大量的油基真空系統(tǒng)已經(jīng)被全無(wú)油和清潔的真空系統(tǒng)所取代。國(guó)外幾乎每一家主要的真空公司都生產(chǎn)各種類(lèi)型螺桿真空泵。螺桿式真空泵是一種非接觸干式泵，出現(xiàn)于20世紀(jì)90年代初，是一種令人滿(mǎn)意的泵型。由于其泵送速度范圍廣、結(jié)構(gòu)緊湊緊湊、泵室部件無(wú)摩擦、堅(jiān)固耐用、能耗低、無(wú)油污染等優(yōu)點(diǎn)，得到了廣泛的應(yīng)用。
由于其的性能，干式螺桿真空泵已成為歐洲、美國(guó)和日本微電子、半導(dǎo)體材料、制藥業(yè)和精密加工等行業(yè)的真空采集設(shè)備。在螺桿壓縮機(jī)的基礎(chǔ)上，日本長(zhǎng)期以來(lái)一直在開(kāi)發(fā)用于機(jī)械泵的多頭轉(zhuǎn)子型材，并將其投入市場(chǎng)。德國(guó)幾家真空設(shè)備公司已經(jīng)逐步開(kāi)發(fā)出等螺距和變螺距的轉(zhuǎn)子輪廓，并對(duì)轉(zhuǎn)子和機(jī)身冷卻進(jìn)行了大量研究。2008年，中國(guó)企業(yè)還將螺桿真空泵的生產(chǎn)引入批量生產(chǎn)，在化工廠和制藥行業(yè)得到了很好的應(yīng)用。
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