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干式真空泵

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更新時間：2025-03-28 08:49:49瀏覽次數(shù)：3次

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新疆三科機電設備有限公司

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產(chǎn)品簡介

又稱干式機械泵）就是指一種可以從大氣壓開始泵送汽體，并把泵送汽體直接排放到大氣中的機械真空泵。泵腔內(nèi)沒油或其他介質(zhì)，泵的極限壓力與油封真空泵相同或接近。干式真空

詳細介紹

干式真空泵（又稱干式機械泵）就是指一種可以從大氣壓開始泵送汽體，并把泵送汽體直接排放到大氣中的機械真空泵。泵腔內(nèi)沒油或其他介質(zhì)，泵的極限壓力與油封真空泵相同或接近。

干式真空泵應用廣泛，主要有以下層面：

1）在低壓干法刻蝕多晶硅的制取環(huán)節(jié)中；

2）半導體蝕刻工藝。在這些生產(chǎn)中頻繁使用甚至造成腐蝕性物質(zhì)和耐磨材料顆粒物；

3）在一些產(chǎn)生除半導體工藝以外的顆粒的工藝中，不希望將顆粒物混合到泵油中，但是對于從泵排出的顆粒，一些類別的干式機械真空泵可以滿足要求；

4）在化學工業(yè)、制藥工業(yè)、食品工業(yè)、蒸餾、干燥、消泡、包裝等行業(yè)，防止有機溶液造成污染，適合應用干式真空泵；

5）用于真空系統(tǒng)的基本全無油清潔，以防止油污染。干式螺桿式真空泵是一種抽氣設備，運用一對螺桿在泵殼內(nèi)進行同步快速反方向自動旋轉(zhuǎn)，以產(chǎn)生抽吸和排氣效果。這兩個螺絲經(jīng)過精細均衡，由軸承支持，并安裝在泵殼中。螺桿和螺桿之間有一定的間隙，所以當泵運行時，二者之間并沒有摩擦，性能穩(wěn)定，低噪。工作室不用潤滑油。因此，干式真空泵能消除含有大量水蒸氣和少許灰塵的汽體，具有極限真空度高、功耗低、節(jié)能、經(jīng)久耐用等優(yōu)點。它是油封/水環(huán)/噴射真空泵的更新產(chǎn)品。