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1100℃流化床CVD(FBCVD)爐 (配φ22mm法蘭用于粉末CVD)
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合肥科晶材料技術(shù)有限公司·更新于2024-07-11 16:45:12·144次訪問
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流化床區(qū)域

· 在爐管內(nèi)部的一個(gè)橫截面上能到達(dá)一個(gè)均勻的氣流分布

· 固體顆粒通過上升的氣體,穩(wěn)定地懸浮在一個(gè)區(qū)域

· 對(duì)于每一個(gè)樣品顆粒都能達(dá)到一個(gè)地?zé)峤粨Q和包覆效果

· 打開密封法蘭,處理好的材料可從爐管頂部倒出

注意:氣體以足夠高的流速上升穿過微孔石英板使粉末漂浮起來。然而如果氣體流速太高,粉末可能會(huì)飛出石英爐管。所以用戶需根據(jù)粉末的顆粒度,調(diào)節(jié)氣壓和流速,使粉末穩(wěn)定地漂浮在爐管中心。

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微孔石英板

· 石英管內(nèi)焊接有一個(gè)微孔石英管,爐管頂部和底部進(jìn)氣,強(qiáng)制氣體對(duì)流,使粉末樣品顆粒均勻漂浮在加熱區(qū)中心

   微孔石英板:多孔: 15~40 um,尺寸:Φ 22mm  x 4mm (厚)

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可選爐管

可選SS310不銹鋼罐,可高溫高壓使用

溫度:800℃

氣壓10MPa(安裝有一個(gè)自動(dòng)泄壓閥)

可增加ALD系統(tǒng),與設(shè)備配合,對(duì)粉體材料包覆

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爐體結(jié)構(gòu)

雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)

爐體開啟式設(shè)計(jì),方便更換爐管

采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,提高加熱效率


功率

1200W


電壓

AC208~240V  單相   50/60Hz


工作溫度

1200℃(<>


連續(xù)工作溫度

1100℃


加熱速率

20℃/min


爐管尺寸和材質(zhì)

1根異形石英管,兩端細(xì),中間粗

兩端:外徑25mm×內(nèi)徑22mm,  中間:外徑50mm×內(nèi)徑44mm

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密封法蘭

底部法蘭:配有一套直徑為Φ25mm,安裝有機(jī)械壓力表,閥門和Φ6.35mm通氣接口

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可選

可選購混氣系統(tǒng),用于CVD或ALD實(shí)驗(yàn)

可選購氧傳感器,來檢測(cè)爐管內(nèi)部的氧含量

可選購超聲噴霧系統(tǒng),可將液體前驅(qū)體霧化到爐管內(nèi)部

可選購自動(dòng)粉料進(jìn)料機(jī)構(gòu)

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加熱區(qū)

200mm


恒溫區(qū)

60mm


加熱元件

 Fe-Cr-Al 合金摻 Mo


溫控系統(tǒng)

· 可設(shè)置50段程序段:加熱速率,降溫速率和保溫時(shí)間

· PID方式調(diào)節(jié)溫度,溫度自整定功能,帶有超溫&斷熱電偶報(bào)警

· 超溫保護(hù)和報(bào)警,避免操作事故發(fā)生

· 控溫精度:±1℃

K型熱電偶


設(shè)備尺寸

340mm×300mm×1000mm ( W x L x H)


凈重

~20Kg


電腦&軟件(可選)

Labview溫度控制軟件系統(tǒng)(MTS01)可用于用電腦控制爐體:編輯溫度程序參數(shù)和導(dǎo)出實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)

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質(zhì)保

一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不含爐管,密封圈和加熱元件等耗材)


質(zhì)量認(rèn)證

CE


警告

此管式爐爐管為石英管可在低壓或常壓環(huán)境下使用,爐管內(nèi)正壓需<>

注意:氣瓶上必須安裝雙級(jí)減壓閥,出口氣壓需減到0.02MPa

當(dāng)設(shè)備使用溫度≧1000℃時(shí),為防止?fàn)t管變形,爐管內(nèi)必須為常壓,不可為負(fù)壓


合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年,是合肥物質(zhì)科學(xué)研究院的下屬企業(yè)。(更多內(nèi)容請(qǐng)點(diǎn)擊“企業(yè)展示中心”) 公司目前主要從事氧化物晶體(A-Z)系列材料研發(fā)生產(chǎn)、濺射靶材制備和材料實(shí)驗(yàn)室及電池研發(fā)全套設(shè)備。公司從成立之初研發(fā)高溫超導(dǎo)薄膜基片大尺寸LaAlO3單晶做起,目前MgAlO4、NdGaO3、LSAT、3英寸LaAlO3等晶體是行業(yè)供應(yīng)商。設(shè)備研發(fā)的各種高溫爐,大尺寸高溫高壓爐,熱等靜壓爐,單晶生長爐等,用于石墨烯、高通量、蒸發(fā)鍍膜、高溫超導(dǎo)薄膜、超導(dǎo)塊材和線材的制備設(shè)備,涉及新能源材料,電池制備等成套設(shè)備,并為科研工作者提供材料研究解決方案,已經(jīng)成為企業(yè)。(更多內(nèi)容請(qǐng)點(diǎn)擊“根據(jù)應(yīng)用尋找設(shè)備”) 公司先后被認(rèn)定為國家“企業(yè)”,安徽省企業(yè)技術(shù)中心,安徽省“專精特新”企業(yè),合肥市工業(yè)設(shè)計(jì)中心等榮譽(yù)稱號(hào);公司材料實(shí)驗(yàn)室被認(rèn)定為安徽省光電晶體材料裝備技術(shù)工程研究中心。產(chǎn)品遠(yuǎn)銷美國斯坦福、麻省理工學(xué)院、哈佛大學(xué)、英國牛津大學(xué),新加坡國立大學(xué)等世界所有高校、蘋果、惠普、巴斯夫、特斯拉等國際公司,以及國內(nèi)985、211高校、中科院物理所、核能所等高??蒲性核彩俏夜局覍?shí)用戶。(更多內(nèi)容請(qǐng)點(diǎn)擊“客戶案例”) 公司自成立以來,十分重視科技創(chuàng)新和產(chǎn)學(xué)研合作工作,尤其是把“納天錫人士,鑄科晶偉業(yè)”作為重要工作來抓,董事長江曉平博士親自帶領(lǐng)一支高素質(zhì)和強(qiáng)大創(chuàng)造力的高水平人才團(tuán)隊(duì),并與合肥物質(zhì)科學(xué)研究院等高校科研院開展緊密的產(chǎn)學(xué)研合作,全力打造材料研發(fā)設(shè)備的品牌,竭力為科學(xué)進(jìn)步和社會(huì)發(fā)展作出貢獻(xiàn)。科晶設(shè)備公司自2002年涉足材料制備研發(fā)設(shè)備,十多年來不斷追求產(chǎn)品品質(zhì),力求精益求精。從混料球磨、壓片成形、高溫?zé)Y(jié)到樣品切割、磨拋成相,再到薄膜制備和電池制備,公司不斷研發(fā)制造用于材料制備的全套解決方案,全面滿足各領(lǐng)域產(chǎn)品制備需求,努力為客戶打造一站購齊式服務(wù)體驗(yàn)??凭Ьw與材料1997年公司成立之初,主要研發(fā)生產(chǎn)超導(dǎo)基片。經(jīng)過二十三年的發(fā)展,目前自主研發(fā)的MgAlO4、NdGaO3、LSAT、3英寸LaAlO3等晶體是世界供應(yīng)商。從晶體到靶材、薄膜,再到蒸發(fā)料、粉料、金屬絲箔及納米材料,上千種材料的豐富供給,構(gòu)建起行業(yè)的科研材料產(chǎn)品體系。需求全套解決方案為客戶提供產(chǎn)品的成套解決方案,全工藝鏈的產(chǎn)品以及非標(biāo)定制方案,努力為客戶提供一站購齊式服務(wù)。另外還為客戶提供實(shí)驗(yàn)室解決方案,幫助客戶制定實(shí)驗(yàn)室規(guī)劃,與輔助設(shè)備建議。應(yīng)用技術(shù)實(shí)驗(yàn)室安徽省級(jí)企業(yè)技術(shù)中心,是一個(gè)集材料制備、樣品檢測(cè)及技術(shù)服務(wù)于一體的多功能共享實(shí)驗(yàn)室,客戶可以使用科晶實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行材料制備及檢測(cè)、工藝探索和應(yīng)用技術(shù)交流,同時(shí)實(shí)驗(yàn)室團(tuán)隊(duì)可以為客戶提供工藝培訓(xùn),實(shí)習(xí),實(shí)驗(yàn)代加工,聯(lián)合項(xiàng)目等多種服務(wù)項(xiàng)目。售后維修從產(chǎn)品支持到售后保障,科晶公司專業(yè)的售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)全年不間斷的為客戶提供線上,線下維修服務(wù),全面保證客戶設(shè)備的正常使用,做到購買產(chǎn)品,終身維護(hù)。實(shí)驗(yàn)安全科晶重視客戶的實(shí)驗(yàn)安全,針對(duì)一線設(shè)備使用的科研人員,提供全公益性質(zhì)的線上或線下,標(biāo)準(zhǔn)或定制的設(shè)備與藥品技術(shù)支持與培訓(xùn),以及針對(duì)性的安全相關(guān)設(shè)備開發(fā)。
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